試料作製装置
複合スパッタ装置(ULVAC製)
3元、4元、6元のカソードがついた3つのチャンバーが真空状態で接続されています。エッチング機構もついており、表面処理が可能です。3元のチャンバーは、バイアススパッタ可能、基板加熱機構、カソードパワーのリモート制御機能がついています。4元のチャンバーには、シャッターのリモート制御が可能であり、多層膜の自動成膜が可能です。6元スパッタ装置は傾斜膜作製用のリニアシャッターがついており、異なる膜厚の試料が一度に成膜できます。
イオンビームスパッタ装置(ULVAC製)
4元ターゲットが導入可能な成膜装置です。ターゲットサイズが6インチと大きく非常に平坦な膜の作製が得意です。また基板エッチング機構もついています。
スパッタ装置(エイコー製)
2つのカソードがついた、9つのターゲットの導入可能な成膜装置です。到達真空度1E-7Paまで実現可能な装置となっています。基板加熱、および基板冷却機構がついています。また傾斜膜作製用のリニアシャッターがついています。
抵抗加熱蒸着機(ハリーテック製)
電極作製用に用いている抵抗加熱蒸着装置です。金とクロムが成膜できるようになっています。
マスクレス露光機(ネオアーク製)
マスクを使わないフォトリソグラフィーです。CADを作製すれば、マスク作製の手間を省いて、素子作製が可能です。
ナノインプリント装置
熱プレスを行うことで、金型の凹凸構造を、プラスチック基板に転写できる装置です。
磁場中アニール装置
磁場中で試料をアニールできる装置です。最高温度800度、磁場100 Oeまで印加できます。交換バイアス機能を誘発させるために利用します。
ワイヤーボンディング装置
電気計測のために、金属(アルミニウム)ワイヤーをデバイスに配線するための装置です。
分析装置
振動試料型磁力計
試料を振動させ、その誘導起電力を検出することで磁力を測る装置です。感度1e-5 emu、最大磁場10 kOeです。学部三年生向け学生実験でも利用しています。
交番磁界勾配型磁力計(プリンストン製)
磁界勾配を使って磁力を計測する装置です。感度1e-8 emu、最大磁場20 kOeです。
エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX)(島津製作所製EDX-720)
元素固有の蛍光X線を測定することで、組成分析を行う装置です。合金薄膜の組成分析のために利用しています。
カーループトレーサー(ネオアーク製)
赤色のレーザー(690 nm)を用いて、カー回転角の磁場依存性を測定する装置です。希土類遷移金属合金の希土類リッチか、遷移金属リッチを判別するのに使います。
原子間力顕微鏡(デジタルインスツルメンツ製)
薄膜の表面状態を計測する装置です。磁気力顕微鏡としても使えます。
ナノ磁区計測装置(TDK製)
磁気力顕微鏡と同じく、磁区画像を計測する装置です。プローブの先端に、MTJ素子がついているため、磁気力顕微鏡よりも高感度に測定が可能です。
計測装置
異常ネルンスト効果計測装置(自作)
異常ネルンスト係数のほかに、縦抵抗率、ホール抵抗率、ゼーベック係数の計測が可能です。最大12 kOeまで印加可能です。電磁石は古くなったカーループトレーサーの電磁石を利用しています。
高磁場印加可能異常ネルンスト効果計測装置(自作)
異常ネルンスト係数のほかに、縦抵抗率、ホール抵抗率、ゼーベック係数の計測が可能です。最大22 kOeまで印加可能です。
熱流センサー感度評価装置1(自作)
異常ネルンスト効果型熱流センサーの感度を評価する装置です。最大2 kOeまで印加可能です。平坦状態だけでなく、曲面でも計測可能となっています。
真空チャンバー付き熱流センサー感度評価装置2(自作)
異常ネルンスト効果型熱流センサーの感度を評価する装置です。最大2 kOeまで印加可能です。また真空状態での計測が可能で、熱対流によるノイズを軽減できます。
高磁場用熱流センサー感度評価装置3(自作)
異常ネルンスト効果型熱流センサーの感度を評価する装置です。最大12 kOeまで印加可能です。
高磁場用熱流センサー感度評価装置4(立ち上げ中)
異常ネルンスト効果型熱流センサーの感度を評価する装置です。最大18 kOeまで印加可能です。
強磁性共鳴評価装置1(自作)
強磁性共鳴を測定する装置です。最大20 GHz、8 kOeまで印加可能です。
強磁性共鳴評価装置2(自作)
強磁性共鳴を測定する装置です。最大40 GHz、17 kOeまで印加可能です。磁場均一性が0.01%まで確保されてます。シグナルジェネレータは前学長からのお譲り品、ロックインアンプと交流アンプは某教授からのお譲り品を使っています。
電子スピン共鳴装置(日本電子製)
9 GHzにおける電子スピン共鳴(ESR)を計測する装置です。液体窒素を使った低温実験や、角度依存性の測定も可能です。某教授からのお譲り品です。
低温輸送特性評価装置(自作)
室温から4 Kまでの低温の輸送特性を評価する装置です。冷凍機は二木工芸製、電磁石は古くなったESRを利用しています。高周波計測用のラインも2本あります。
磁気光学カー効果顕微鏡1(ネオアーク製)
磁壁駆動の実験に利用しています。
磁気光学カー効果顕微鏡2(ネオアーク製)
磁壁駆動の実験に利用しています。
波長可変カー回転角計測装置
可視光領域のカー回転角と楕円率の磁場依存性を計測できる装置です。
高周波計測機器
シグネルジェネレーター(~40 GHz、~20 GHz)、スペクトラムアナライザ(~26.5 GHz)、ネットワークアナライザ(~8.5 GHz、~20 GHz)、オシロスコープ(~6 GHz)、パルスジェネレータ(立ち上がり時間350 ps、パルス幅0.5 ns~)などを有しており、基本的な高周波計測が可能です。
その他計測機器
ナノボルトメーター(ケースレー2182a、キーサイト34420a)5台、超高感度AC/DC電流源(ケースレー6221)2台、ロックインアンプ(NF)6台、LCRメーター2台、直流電圧電流源7台、マルチメーター(ケースレー2000、キーサイト34401A)10台以上など。