Deuterium Annealing
(정)길태현
(부)이문권
Rapid Thermal Oxidation
(정)길태현
(부)방다은
Mask Aligner
(정)길태현
(부) 최유진
Probe Station (4200A)
(정)박효준
(부)김아영
Wet Station
(정)길태현
(부)지홍석
E-Beam Evaporator
(정)연주원
(부)강상민
Thermal ALD
(정)연주원
(부)이문권
Silvaco Athena & Atlas
(정)박효준
(부)최유진
Synopsys Sentaurus
(정)이문권
(부)강상민
DC & RF Sputter
(정)윤의철
(부)손돌
Reactive Ion Etcher
(정)이문권
(부)박효준
Rapid Deuterium Annealing
(정)길태현
(부)연주원
Plamsa Annealing
(정)박효준
(부)윤의철