Low-Temperature Deuterium Annealing (LTDA) (4")
관리자: 박효준 (부: 김민우)
Keithley 4200A Parameter Analyzer & Probe Station
관리자: 김민우
Cryogenic Probe Station (2")
관리자: 윤의철
Mask Aligner (4") & Spin Coater
관리자: 방다은 (부: 강상민)
Alpha Step
관리자: 강상민 (부: 방다은)
Reactive Ion Etcher (8")
관리자: 손돌 (부: 박효준)
e-Beam Evaporator (4")
관리자: 강상민 (부: 김민우)
Rapid Thermal Annealing (4")
관리자: 윤의철
Silvaco Athena & Atlas
관리자: 윤의철
Synopsys Sentaurus
관리자: 윤의철