Cryogenic Probe Station (2")

관리자: 윤의철

Mask Aligner (4") & Spin Coater

관리자: 강상민 (부: 오현택)

Alpha Step 

관리자: 박효준 (부: 오현택)

Reactive Ion Etcher (8")

관리자: 박효준 (부: 이연석)

e-Beam Evaporator (4")

관리자: 이연석

Ellipsometer

관리자: 윤의철 (부: 이연석)

Rapid Thermal Annealing (4")

관리자: 윤의철

Silvaco Athena & Atlas

관리자: 윤의철

Synopsys Sentaurus

관리자: 윤의철