實驗室簡介

本實驗室主要致力於光學計量與光學檢測技術之研究與開發，研究內容涵蓋干涉儀、光學尺等高精度光學計量系統，以及疊紋量測、波前感測、線掃描與影像式檢測技術。除基礎光學量測技術外，實驗室亦積極將相關技術導入半導體製程檢測，例如結合投影疊紋、Talbot 成像、全場光學設計與影像處理演算法，發展適用於 12 吋晶圓之表面形貌與翹曲量測系統，以實現大面積、快速、非接觸及高解析度之晶圓檢測；並延伸至精密元件之尺寸、表面輪廓與缺陷分析，致力於發展符合先進半導體製造需求之高精度光學量測與自動化檢測技術。