研究室成員

• 蔡宗樺

• 黃鐙萬

• 徐榮佑

• 陳貿瑜

• 謝侑邑

• 王聖瑋

• 陶孝明

• 劉峻愷

• 賈皓文 

大尺寸陰影疊紋式量測技術之開發及於晶圓表面形貌量測之應用

• 林侑呈

• 林哲緯

基於波前感測器之鏡頭組裝對位校正技術開發

• 楊育丞

同心圓式陰影疊紋量測技術之開發

• 張佑嘉

電子散斑干涉儀之開發及於高精密線性及角位移之量測應用

• 林承緯

高解析度陰影疊紋式晶圓翹曲及表面形貌量測技術之開發

• 鍾承祐

雙自由度循環式線性光學尺之開發

• 李岳融

雙自由度共路徑式散斑干涉儀

• 徐繹騰

基於薩格納克效應之循環式雷射光學尺開發

• 陳霈潔

應用於幾何誤差量測之循環式光柵干涉儀開發

• 王浩評

基於準共光程設計之散斑干涉儀之研製

• 陳劭恆

五自由度三繞射式雙光柵干涉儀之開發

• 蔡仕右

新式雙外差共面偵測光柵干涉儀應用於四自由度運動量測之開發

• 邱哲穎

高穩定性共路徑式散斑干涉儀應用於六自由度位移及旋轉角度量測之開發

• 賴昱維

四自由度共面偵測分束器式光柵干涉儀之開發

• 賴奕興 

雙頻共面偵測雙繞射式雷射干涉儀應用於四自由度位移及角度量測之開發

• 陳沫雲 

多自由度雙外差式散斑干涉儀

• 陳人豪 

雙繞射共路徑式線性光學尺之開發

• 林繼揚 

剪切干涉式波前感測器應用於光學成像系統組裝檢測與影像性能驗證之開發

• 林曉慶 

剪切干涉式波前感測器透鏡輪廓與像差量測系統

• 賴宗德 

弦波調制雙繞射光柵干涉儀用於位移及角度量測之開發

• 詹翔安 

四自由度共路徑式線性光學尺

• 陳泓易 

再繞射式光柵干涉儀用於多自由度位移及角度量測之開發

• 范綱宇 

多自由度共面偵測式微型化干涉儀

• 孫柏彥 

多自由度複合式散斑干涉儀

• 梁安傑 

雙繞射技術應用於高解析度雷射光學尺

• 廖家賢 

六自由度聚焦式雷射光學尺

• 吳鈞珽 

六自由度外差式散班干涉儀

• 黃永光 

全域式晶圓翹曲量測技術

• 陳暐 

六自由度Wollaston雷射光學尺

• 郭柏鈞 

雙自由度外差式雷射散斑干涉儀

• 黃堯暉

頻差疊紋法應用於晶圓表面形貌量測之開發

• 鄭鼎緯

平板彈簧式三維度微定位系統之開發

• 朱冠威

壓電雙晶片以雙相驅動製作幫浦結構之固液耦合振動分析與流率量測

• 張耀中 

閃頻疊紋法應用於晶圓翹曲量測之開發

• 汪育政 

外差式共光程折射率量測技術

• 潘思汶 

六自由度隼共光程雷射干涉儀

• 蔡宇軒 

疊紋式晶圓翹曲量測技術之開發

• 王威程 

六自由度波長調制外差光柵干涉儀之開發