豐富的製程設備,可在實驗室內獨立完成大部分製程
詳細資訊如下子網頁所示: Aligner、E-gun-1、E-gun-2、E-gun-3、Flip-Chip Bonder、Furnace、ICP-RIE、Laser Scriber、PEALD、RIE、RTA-1、RTA-2、RTA-3、Sputter、Thermal Coater、UV Ozone、Wafer Expender