Research

 - Deep learning을 활용한 NAND channel hole 구조 super resolution 영상

NAND, DRAM, Logic 등 반도체 소자는 Chip/Die/Cell Block 내에 여러 구조(Module)로 구성되어 있으며, 다양한 공정 과정을 통해서 구조를 형성하고 최종적으로 소자를 만들게 됩니다. 이 때, 반도체 산업에서는 수율이 수익에 직접적인 영향을 주기 때문에 수율을 관리하기 위해서 각 공정을 모니터링합니다.

기존에는 직접적인 영상을 통해서 공정 관리를 수행하였지만, 점차 소자의 선폭이 작아짐에 따라 더 이상 광학적인 방법으로는 미세 선폭 영상을 분해하기 어렵게 되어, 최근에는 고속/고가속 SEM과 Spectrum 기반 광학 방식으로 미세 선폭을 계측하여 각 공정을 Monitoring 및 공정 개발에 활용하고 있습니다.

본 연구실은 Spectrum 기반 반도체 미세 구조 계측을 위한 연구하고 있으며, 이를 위해 Spectroscopic Reflectometry / Spectroscopic Ellipsometry 기반 계측 기술 고도화 및 신개념 기술 관련 연구를 진행하고 있습니다.