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GCIM 2023 국제학회 발표수행 (2023.06.06~09)

2023년 6월 6일~9일 동안 제주도 ICC 제주에서 GCIM 2023 (Global Conference on Innovation Materials) 국제 학회가 개최되었습니다.

김우희 교수님께서는 Semiconductor Thin Films, Materials and Devices 분과 좌장 역할을 수행해주셨고, 박사과정 이정빈 학생은 Oral 발표, 석박통합과정 권용주, 박하늘, 김혜경 학생은 Poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이정빈/김정태: Elucidating Smoothing Effect on Ultra-thin Ruthenium Films with the Combined Atomic Layer Deposition and Etching Process

권용주: Improved DRAM Electrode Dielectric Interface Properties Using NbOx Film Using Area-Selective Atomic Layer Deposition

박하늘: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ruthenium Thin Films using Vapor Dosing of Aldehyde Inhibitors on Various Substrates 

김혜경: Low-Temperature Chemical Vapor Deposition of SnOx Thin Film toward Next-Generation EUV Dry Resist