電子スピンの高感度検出が可能。試料への電圧印加や光照射下で測定できます。液体窒素温度までの低温測定に対応。

金属電極/有機低分子材料の蒸着膜作製に用います。

素子の電流－電圧特性を窒素温度まで測定することができます。

真空紫外光(172 nm)照射により基板洗浄が可能です。

嫌気下での試料作製に用います。

グローブボックス内での薄膜作製、熱処理に用います。

290 nm ~ 900 nmの波長範囲で光吸収測定が可能です。

試料や器具の乾燥に用います。

試料への単色光照射に用います。

高分子等の溶液から薄膜を作製します。

基板洗浄に用います。

試料の真空保持、真空下での熱処理等に用います。

超純水を作製します。

試料作製・観察、デバイス作製等を行います。

試料作製・観察、デバイス作製等を行います。