Лабораторная работа 1. Исследование вакуумной системы технологической установки по программной модели.
Лабораторная работа 2. Изучение вакуумной системы технологической установки.
Лабораторная работа 3. Исследование процесса вакуумного испарения по программной модели.
Лабораторная работа 4. Изучение технологического процесса изготовления пленки на установке резистивного испарения.
Лабораторная работа 5. Изучение процесса магнетронного напыления пленок по программной модели.
Лабораторная работа 6. Исследование процесса магнетронного распыления.
Лабораторная работа 7. Исследование процесса нагрева подложки при магнетронном распылении.
Лабораторная работа 8. Изучение процесса контактной фотолитографии.
Лабораторная работа 9. Изучение фотометрических методов определения свойств тонких пленок.
График зачета в виртуальной лаборатории
Лабораторная работа 1. Исследование влияния параметров вакуумной системы технологической установки на процесс получения вакуума.
Лабораторная работа 2. Исследование аномального тлеющего разряда в среде аргона.
Лабораторная работа 3. Исследование процесса осаждения пленки методом вакуумного испарения.
Лабораторная работа 4. Исследование аномального тлеющего разряда в реактивной газовой среде.
Лабораторная работа 5. Исследование процесса осаждения пленки методом магнетронного распыления.
Лабораторная работа 6. Исследование оптических свойств слабо поглощающих пленок в видимом диапазоне длин волн.
Лабораторная работа 7. Исследование тепловых процессов при магнетронном распылении.
Лабораторная работа 8. Определение ширины энергетической щели аморфной пленки.
Лабораторная работа 1. Исследование оптических свойств пленок в видимом диапазоне длин волн
Лабораторная работа 2. Исследование оптических свойств пленок в УФ диапазоне
Лабораторная работа 3. Исследование вакуумной система технологической установки.
Лабораторная работа 4. Исследование магнетрона, работающего в среде аргона
Лабораторная работа 5. Исследование магнетрона, работающего в реактивной газовой среде
Лабораторная работа 6 Исследование тепловых процессов при магнетронном распылении
Лабораторная работа 7. Исследование процесса осаждения пленки методом магнетронного распыления
Лабораторная работа 8. Исследование процесса осаждения пленки методом вакуумного испарения
Лабораторная работа 9. Исследование влияния энергии и угла падения ионов на их пробег в твердом теле
Лабораторная работа 10. Исследование зависимости коэффициента распыления от энергии ионов и угла их падения на мишень
Лабораторная работа 11. Исследование зависимости погрешности измерений от количества измерений