25– 27 июня 2024, г. Санкт-Петербург.
Иванов Н.М., Шаповалов В. И., Шарковский Д.С. Сэндвич мишень магнетрона для осаждения композиционных пленок Ti-Mo-Cr-N
2. Шаповалов В.И. Моделирование реактивного распыления.
3. Иванов Н.М. Шаповалов В. И., Шарковский Д.С. Магнетрон для осаждения пленок сплава Ti-Ta
XXI Международная научно - техническая конференция
«Быстрозакаленные материалы и покрытия»
22 – 23 октября 2024 года, Москва, Россия
1. Шаповалов В. И., Шарковский Д.С. Напыление пленки тройного твердого раствора нитридов