Публикации

2020 год

Smirnov V. V. Simulation of sputtering a sandwich target in a reactive gas medium // J. Phys.: Confer. Ser. 1713 (2020) 012021.

Козин А.А., Кочин А.В., Шаповалов В.И., Шестаков Д.С. / Под ред. В.И. Шаповалова. Пленки нитридов. .СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. 256 с.

Карпов Д.В., Литуновский В.Н.  / Под ред. В.И. Шаповалова. Плазменные технологии для модификации поверхности, синтеза наноматериалов и использования в водородной энергетике. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. 320 с. 

Козин А. А., Шаповалов В. И., Ahmedov H., Demir A., Korutlu B., Шабалин А. Е. Изучение влияния давления аргона на температуру горячей мишени // Материалы XVII Междунар. НТК «Быстрозакаленные материалы и покрытия (БМП-2020) 20-21 октября 2020, г. Москва. М.: Изд-во «ПРОБЕЛ-2000», 2020. С. 54–58.

Козин А. А., Шаповалов В. И., Шестаков Д. С., Рудаков А. В., Шабалин А. Е., Павлов В. А. Магнетрон с сэндвич мишенью для осаждения твердых композиционных пленок Mo x Cr 1–x N // Вакуумная техника и технологии – 2020. Труды 27-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. 27–29 октября 2020 г. / под ред. Д. К. Кострина и С. А. Марцынюкова. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. С. 115–117.

Павлов В. А., Шаповалов В. И., Шестаков Д. С., Рудаков А. В., Шабалин А. Е. Длительность эксперимента при изучении тепловых процессов на подложке в процессе магнетронного распыления титановой мишени //

Вакуумная техника и технологии – 2020. Труды 27-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. 27–29 октября 2020 г. / под ред. Д. К. Кострина и С. А. Марцынюкова. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. С. 106–109

Шестаков Д. С., Шаповалов В. И., Рудаков А. В., Шабалин А. Е., Павлов В. А. Разряд магнетрона с молибденовой мишенью в аргоне» // Вакуумная техника и технологии – 2020. Труды 27-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием. 27–29 октября 2020 г. / под ред. Д. К. Кострина и С. А. Марцынюкова. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. С. 111–114.

Kozin A. A., Shapovalov V. I., Ahmedov H., Demir A., Korutlu B., Shabalin A. E. Study of the effect of argon pressure on the temperature of a hot target) // J. Phys.: Confer. Ser. 1713 (2020) 012021.

Распыляемый блок магнетрона для осаждения твердых композиционных пленок [Текст]: пат. 201611 Российская Федерация: МПК C23C 14/35 (2006.01) / Шаповалов В.И., Козин А.А. Шестаков Д. С.; заявитель и патентообладатель С-Петерб. гос. электротехн. ун-т «ЛЭТИ». – № 2019140289; заявл. 06.12.19; опубл. 23.12.20, Бюл. № 36.

2021 год

Kozin A. A., Shapovalov V. I., Shestakov D. S., Rudakov A. V., Shabalin A. E., Pavlov V. A. Magnetron with sandwich target for solid composite film deposition MoxCr1–xN // J. Phys.: Confer. Ser. 1799 (2021) 012018.

Pavlov V. A., Shapovalov V. I., Shestakov D. S., Rudakov A. V., Shabalin A. E. Time saving technique for studying thermal processes in magnetron sputtering of titanium target // J. Phys.: Confer. Ser. 1799 (2021) 012021.

Shestakov D. S., Shapovalov V. I., Rudakov A. V., Shabalin A. E., Pavlov V. A. Magnetron discharge with molybdenum target in argon // J. Phys.: Confer. Ser. 1799 (2021) 012031.

Shapovalov V. I., Zav’yalov A. V., Meleshko (Morozova) A. A. Сurrent-voltage characteristics of magnetron with hot titanium target in chemically active environment // Sur. Coat. Technol. 417 (2021) 127189.

Kraynov N. S., Sharipov A. A., Shapovalov V. I. Discharge parameters of a magnetron with a molybdenum target // J. Phys.: Confer. Ser. 1954 (2021) 012023.

Shapovalov V. I. Deposition of solid solution films using reactive magnetron sputtering of a sandwich target // J. Phys.: Confer. Ser. 1954 (2021) 012041.

Павлов В. А., Шаповалов В. И., Шестаков Д. С., Кочин А. В., Рудаков А. В., Шабалин А. Е. Сокращение продолжительности наблюдения за кинетикой нагревания подложки при магнетронном распылении медной мишени // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2021, № 1, С. 12–17.

Shapovalov V.I., Ahmedov H., Kozin A.A., Demir A., Korutlu B., Simulation of the effect of argon pressure on thermal processes in the sputtering unit of a magnetron with a hot target // Vacuum – 2021 – V. 192 – P. 110421.

Шабалин А. Е., Шаповалов В. И. Моделирование разряда магнетрона постоянного тока // Труды 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2021», 22–24 июня 2021 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», – 2021. – С. 192–194.

Николюкин Д. А., Шаповалов В. И. Исследование параметров пленок оксида молибдена оптическими методами // Труды 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2021», 22–24 июня 2021 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2021. С. 178–181.

Шаповалов В. И. Гистерезисный эффект при реактивном распылении // Труды 28-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2021», 22–24 июня 2021 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2021. С. 210–213.

Распыляемый блок магнетрона для осаждения композиционных пленок Ti x Mo y Cr 1–x–y N [Текст]: пат. 204777 Российская Федерация: МПК C23C 14/35 (2006.01) / Шаповалов В.И., Козин А.А., Шестаков Д. С., Рудаков А. В.; заявитель и патентообладатель С-Петерб. гос. электротехн. ун-т «ЛЭТИ». – № 2021102132; заявл. 29.01.21; опубл. 09.06.21, Бюл. № 16.

2022 год

V. I. Shapovalov Effect of vacuum annealing on the optical properties of tungsten oxide films. Thin Solid Films 758 2022 139439, https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139439.

М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов Влияние изотермического отжига в вакууме на дисперсию показателя поглощения пленок оксида вольфрама // Труды 29-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2022», 23–25 июня 2022 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2022. С. 200–203.

Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов, Влияние тока разряда на интенсивность линий в спектрах испускания при магнетронном распылении металлической мишенью в среде аргона // Труды 29-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2022», 23–25 июня 2022 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2022. С. 192–195.

М. О. Иванцов, В. И. Шаповалов, Влияние температуры отжига на термохромные свойства пленок оксида вольфрама         // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2022, Т. 15, № 8, С. 5-16. doi: 10.32603/2071- 8985-2022-15-8-5-16. (Ivanov N. M., Shapovalov V. I. Peculiarities of the Emission Spectrums of the Magnetron Discharge with a Metal Target in Argon Atmosphere // LETI Transactions on Electrical Engineering & Computer Science. 2022. Vol. 15, no. 9. P. 5–11. doi: 10.32603/2071-8985-2022-15-9-5-11.)

Н. М. Иванов, В. И. Шаповалов, Особенности спектров испускания разряда магнетрона с металлической мишенью в среде аргона // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2022, Т. 15, № 9, С. 5-11. doi: 10.32603/2071-8985-2022-15-9-5-11. (Ivanov N. M., Shapovalov V. I. Peculiarities of the Emission Spectrums of the Magnetron Discharge with a Metal Target in Argon Atmosphere // LETI Transactions on Electrical Engineering Computer Science. 2022. Vol. 15, no. 9. P. 5–11. doi: 10.32603/2071-8985-2022-15-9-5-11)

Шаповалова В. И. Магнетрон с сэндвич мишенью. Основы физико-химической модели реактивного распыления // Вакуумная наука и техника. Материалы XXIX научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов М.: Изд-во Электровакуумные технологии. 2022. С. 185–190.

Иванцов М. О., Крайнов Н. С., Юлчиев С. М., Шаповалов В. И. Магнетрон с сэндвич мишенью для осаждения пленки пермаллоя // Материалы XIX-й Международной научно-технической конференции «Быстрозакаленные материалы и покрытия». 18-19 октября 2022 г. МАИ: Матер. конф. – Москва: Пробел-2000, 2022, С. 51–55.

Способ получения пленки нитрида пермаллоя FexNi1-xN [Текст]: пат. 2784453 Российская Федерация: МПК C23C 14/35 (2006.01)/Шаповалов В.И.; заявитель и патентообладатель С-Петерб. гос. электротехн. ун-т «ЛЭТИ». – №  2022109242

2023 год

1. Shapovalov V. I., Ivantsov M. O., Krainov N. S. On the Deposition of an FexNi1–x Film by the Magnetron Sputtering of a Multilayer Target. J. Surf. Invest. X-ray, 2023, Vol. 17, S220–S225. doi: 10.1134/S1027451023070479.

2. Shapovalov V. I., Ivantsov M. O., Krainov N. S. On the Deposition of an FexNi1–x Film by the Magnetron Sputtering of a Multilayer Target. J. Surf. Invest. X-ray, 2023, Vol. 17, S220–S225. doi: 10.1134/S1027451023070479.

3. Shapovalov V. I. Physicochemical model for reactive sputtering of a sandwich target, Journal of Applied Physics 133, 085301 (2023); https://doi.org/10.1063/5.0128399.

4. Shapovalov V. I. Modeling of reactive sputtering. History and development, Materials, 2023, 16(8), 3258. https://doi.org/10.3390/ma16083258.

5. Иванцов М.О., Шаповалов В.И., Шарковский Д.С. Тепловой поток на подложке при распылении сэндвич мишени медь-титан. Тезисы ХVII международной научно-технической конференции «Вакуумная техника, материалы и технология», 11-13 апреля 2023 г. Москва. 2023. С. 48.

6. Шарковский Д.С., Шаповалов В.И. Моделирование теплового процесса при магнетронном распылении в аргоне сэндвич мишени Ti/Cu // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2023», 20–22 июня 2023 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. С. 197 – 201.

7. Иванцов М.О., Шаповалов В.И. Анализ кинетики нагревания подложки при магнетронном распылении сэндвич мишени медь-титан // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2023», 20–22 июня 2023 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. С. 138  – 143 .

8. Шаповалов В.И. Реактивное магнетронное распыление // Труды 30-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2023», 20–22 июня 2023 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023. С. 389 – 396.

9. Шаповалов В.И., Шарковский Д.С. Моделирование кинетики нагревания подложки при распылении сэндвич мишени медь-титан. Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2023, Т. 16, № 7. С. 5–14. doi: 10.32603/2071-8985-2023-16-7-5-14 (Shapovalov V. I., Sharkovskii D. S. Modeling of the Substrate Heating Kinetics During Sputtering of a Copper-Titanium Sandwich Target // LETI Transactions on Electrical Engineering & Computer Science. 2023. Vol. 16, no. 7. P. 5–14. doi: 10.32603/2071-8985-2023-16-7-5-14.

10. Шаповалов В. И. Моделирование реактивного распыления. Обзор // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2023. Т. 16, № 10. С. 5–32. doi: 10.32603/2071-8985-2023-16-10-5-32.

11. Распыляемый узел магнетрона для осаждения композиционных многокомпонентных пленок Ni0.60Co0.3Fe0.1 [Текст]: пат. 2808293 Российская Федерация: СПК C23C 14/35 (2023.08)/Шаповалов В.И., Шарковский Д.С.; заявитель и патентообладатель С-Петерб. гос. электротехн. ун-т "ЛЭТИ". - № 2023120096; заявл. 31.07.23; опубл. 28.11.2023, Бюл. № 34.

 2024 год

1. Иванцов М. О., Шаповалов В. И. Экспериментальное изучение нагревания подложки при распылении сэндвич-мишени медь-титан // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2024. Т. 17, № 1. С. 19–31. doi: 10.32603/2071-8985-2024-17-1-19-31. (Ivantsov M. O., Shapovalov V. I. Experimental Study of Substrate Heating During Sputtering of a Copper-Titanium Sandwich Target // LETI Transactions on Electrical Engineering and Computer Science. 2024. Vol. 17, no. 1. P. 19–31. doi: 10.32603/2071-8985-2024-17-1-19-31.)

2. Шаповалов В. И. Моделирование реактивного распыления. Основные принципы // Изв. СПбГЭТУ «ЛЭТИ». 2024. Т. 17, № 7. С. 23–34. doi: 10.32603/2071-8985-2024-17-7-23-34 (Shapovalov V. I. Simulation of Reactive Sputtering. Fundamentals // LETI Transactions on Electrical Engineering & Computer Science. 2024. Vol. 17, no. 7. P. 23–34. doi: 10.32603/2071-8985-2024-17-7-23-34).

3. Шаповалов В.И., Шарковский Д.С. Тепловые процессы при магнетронном распылении / Под. ред. В.И. Шаповалова. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ "ЛЭТИ", 2024. 160 с

4. Шаповалов В.И. Основы моделирования реактивного распыления // Труды 31-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2024», 25–27 июня 2024 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2024. С. 55 – 60.

5. Иванов Н.М. Шаповалов В. И., Шарковский Д.С. Магнетрон с двухслойной мишенью для осаждения пленок бинарного сплава TaxTi1–x  // Труды 31-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2024», 25–27 июня 2024 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2024. С. 269 – 272.

6. Шаповалов В.И. Покрытия из высокоэнтропийных сплавов. Труды 31-й Всероссийской научно-технической конференции с международным участием «Вакуумная техника и технология – 2024», 25–27 июня 2024 г. – СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2024. С. 366 – 370.