English

Шаповалов Виктор Иванович

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ",

профессор кафедры физической электроники и технологии, доктор технических наук, профессор

Краткая биография

Дата рождения

15 июня 1944 год

Ученая степень кандидата технических наук присуждена решением Совета ЛЭТИ

28 декабря 1973 г.

Ученое звание доцента присвоено

13 апреля 1983 г.

Ученая степень доктора технических наук присуждена решением ВАК Минобрнауки РФ

19 июня 2009 г.

Ученое звание профессора присвоено

25 июля 2013 г.

Академическая квалификация

Учёная степень: Диплом инженера-электрика (эквивалент master of engineering).

Место и дата: Радиотехнический факультет, Электротехнический институт, Ленинград, 1968 г.

Тема дипломного проекта: «Прибор для медицинских измерений».

Учёная степень: кандидат технических наук (эквивалент PhD).

Место и дата: Радиотехнический факультет, Электротехнический институт, Ленинград, 1973 г.

Тема диссертации: «Исследование надежности электронных компонентов».

Учёная степень: доктор технических наук (эквивалент Doctor of science).

Место и дата: Факультет электроники, Электротехнический университет, Санкт-Петербург, 2008 г.

Тема диссертации: «Пленочные структуры оксидов переходных металлов: технология, контроль, оборудование».

Место работы и должность:

с 01.04.68 – инженер кафедры РК ЛЭТИ
с 01.01.70 – аспирант ВМК ЛЭТИ
с 01.01.74 – мл.научн.сотр. кафедры ЭИВТ ЛЭТИ,
с 01.07.75 – ст.научн.сотр. кафедры ЭИВТ ЛЭТИ,
с 23.05.79 – доцент кафедры ЭИВТ (с мая 2005 кафедра ФЭТ) ЛЭТИ - СПбГЭТУ.
c 1.11.06 - докторант кафедры ФЭТ СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
с 01.09.08 - доцент кафедры ФЭТ СПбГЭТУ "ЛЭТИ
с 01.01.10 - профессор кафедры ФЭТ СПбГЭТУ "ЛЭТИ

Направление научных исследований

Физика и технология оксинитридных пленочных гетероструктур

Дисциплины

Бакалавриат

Технология материалов и элементов электронной техники

Магистратура

Технологии перспективных материалов электроники

Технологии перспективных материалов электроники и радиофотоники

Главные публикации

Монографии и обзорные статьи

1. Малая выборка М.: Изд. Статистика, 1978, 248 с. (соавтор Д.В. Гаскаров).

2. Пленки оксидов переходных металлов: физика и технология реактивного распыления, СПб.: Изд. СПбГЭТУ, 2009. 176 с. (соавтор А.А. Барыбин).

3. Физико-химические основы макро-, микро- и наноэлектроники М.: Изд-во Физматлит, 2011. 784 с.

(соавторы А.А. Барыбин и В.И. Томилин).

4. Нанопорошки ипленки оксида титана для фотокатализа // Физ. Хим. Стекла – 2010, –Т. 36, № 2, – С. 121–157.

5. Пленки оксида вольфрама: технология, свойства и применение. СПб.: Изд. СПбГЭТУ 2014. 118 с.

6. Высокомощное распыление. СПб.: Изд. СПбГЭТУ, 2016. 151 с.

7. Пленки оксинитридов. СПб.: Изд. СПбГЭТУ, 2018 160 с. (соавторы Е.А. Минжулина, А.А. Козин, В.В. Смирнов)

8. Магнетрон с горячей мишенью. СПб.: Изд. СПбГЭТУ, 2019. 220 с. (соавторы Е.А. Минжулина, А.А. Козин).

9. Пленки нитридов. СПб.: Изд. СПбГЭТУ, 2020 160 с. (соавторы Е.А. Минжулина, А.А. Козин, В.В. Смирнов)

10. Плазменные технологии для модификации поверхности, синтеза наноматериалов и использования в водородной энергетике / под ред. проф. В. И. Шаповалова. СПб.: Изд-во СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2020. 395 с. (авторы Д. А. Карпов, В. Н. Литуновский).

11. Shapovalov V. I. Modeling of reactive sputtering. History and development», Materials, 2023, 16(8), 3258. https://doi.org/10.3390/ma16083258

Page updated

Google Sites

Report abuse