Xã Vân Canh 雲耕社 từ xưa đến nay đều gồm ba thôn: Hậu Ái 厚 愛 hay Nhân Ái 仁愛, An (Yên) Trai 安齋 và Kim Hoàng (金黄) - vốn gồm hai làng Kim Bảng 金榜 và Hoàng Bảng 黄榜 nhập thành vào đầu thế kỷ XVI),
Từ thời Lê sơ đến đầu thế kỷ XIX xã thuộc tổng Hương Canh, huyện Từ Liêm, phủ Quốc Oai, trấn Sơn Tây.
雲耕社,香粳總, 慈廉縣, 國威 俯,山西處
Từ năm Minh Mạng thứ 12/1831 xã thuộc tổng Hương Canh, huyện Từ Liêm, phủ Hoài Đức, tỉnh Hà Nội.
雲耕社,香粳總, 慈廉縣, 懷德俯, 河內省
Đến năm Thành Thái thứ 14 (1902) là tỉnh Cầu Đơ, năm 1904 đổi tên là tỉnh Hà Đông.
Hiện nay xã thuộc huyện Hoài Đức, thành phố Hà Nội.
Bản đồ xã Vân Canh năm 1926
Bản đồ xã Vân Canh nay