数センチ大の試料の微細加工やTEM用薄膜作製に用います。

• 基本仕様

  • ガリウムイオン銃（FIB加工）

  • タングステンデポ銃（タングステンコーティング）

  • カーボンデポ銃（炭素コーティング）

  • マイクロプロービングシステム（MPS：薄膜試料のピックアップ）