薄膜化した試料に対し、サブミクロン〜ナノスケールでの組織観察・結晶構造解析・元素分析が可能です。

• 基本仕様

  • 本体 JEOL JEM-ARM200F（HR仕様）

    • 電子銃：冷陰極電界放出型

    • 使用加速電圧：80kV, 200kV

    • 球面収差補正走査透過電子像（Cs-corrected STEM)

  • CCDカメラ

    • サイドマウントカメラ：Gatan Orius SC200D 2048x2048 pixel、pixel size 7.4 x 7.4 µｍ

    • ボトムマウントカメラ：Gatan US1000XP 2048x2048 pixel、pixel size 14.0 x 14.0 µｍ

  • エネルギー分散X線分光装置（EDS）

    • 検出器：JEOL JED-2300 (EX-24280M1G5T), 100mm² SDD (エネルギー分解能 133eV、スーパーUltra-thin window、検出可能元素 B~U)

    • EDSソフトウェア：JEOL Analysis Station

    • 取り出し角：21.9°

  • 電子エネルギー損失分光装置（EELS)

    • 分光器：Gatan Quantum ER (Energy resolution: 0.10eV)

    • CCD検出器：GIF 2048 x 2048 pixel

    • ソフトウェア：Gatan Digital Micrograph, v.2.30, 32-bit

  • 電子線トモグラフィーシステム

    • ソフトウェア：システムインフロンティア TEMography

  • 試料ホルダー

    • JEOL 標準ホルダー

    • JEOL トモグラフィー用ホルダー

    • JEOL ２軸傾斜ホルダー

    • JEOL 分析用２軸傾斜ホルダー

    • Gatan 分析用冷却２軸傾斜ホルダー

  • 設置環境

    • アクティブ磁場キャンセラー

    • 水冷式空調パネル