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비기화게터(NEG)조합 이온 펌프
비기화게터(NEG)조합 이온 펌프
Ion CombiNEG 40-400펌프
Ion CombiNEG 40-400펌프
애질런트 Ion CombiNEG 40-400은 40L/s VacIon 펌프 내부에 고용량 D400-2 비증발형 카트리지를 통합합니다. NEG 카트리지는 활성 가스에 대한 펌핑 속도를 높이고(최대 400L/s 수소), StarCell 이온 펌프는 아르곤을 비롯한 기타 잔존 비활성기체에 대한 펌핑 속도를 높입니다. 자기장 및 vacuum firing 프로세스를 최적화해 성능을 더욱더 개선하며, 낮은 압력에서 탈기를 최소화합니다. 내부 차폐막이 NEG 작동 수명을 보존합니다.
많은 양의 비활성기체를 처리하면서도 메탄, 아르곤, 헬륨에 최고의 펌핑 속도와 용량을 제공하는 유일한 펌프입니다. 초고 또는 고진공 상태에서 펌핑 속도를 높여야 하는 까다로운 응용 분야에 적합합니다.
특징
특징
StarCell 이온 펌프 요소는 비활성기체에 대한 펌핑 속도가 빠르고, NEG 카트리지는 반응 기체에 대한 펌핑 속도가 빠르기 때문에 펌핑 속도를 함께 높여 UHV/XHV 펌프 다운 속도를 단축합니다
매우 콤팩트한 설계를 자랑하는 소결 NEG 카트리지는 저품질 압축형 파우더 NEG 카트리지에 대한 우수한 솔루션으로 파우더가 시스템으로 방출될 위험을 없앱니다.
ConFlat 4.5인치 고정형 플랜지 및 NEG 카트리지용 ConFlat 2.75인치 플랜지로 이용 가능
방향에 따른 피드스루 선택으로 유연성 극대화
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 17 kg (37 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 4.5인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer
히터 전력 : 250W
히터 전압 : 100-120/200-240V
Ion ComboNEG 150-1000/2000펌프
Ion ComboNEG 150-1000/2000펌프
애질런트 Ion CombiNEG 150-1000 및 150-2000 펌프는 150L/s VacIon 펌프 내부의 고용량 D1000 또는 D2000 비증발형 게터 카트리지에 통합됩니다. StarCell 또는 다이오드 이온 펌프는 아르곤을 비롯한 기타 잔존 비활성기체에 대한 펌핑 속도가 빠르고, NEG 카트리지는 흡수 가능한 가스에 대한 펌핑 속도가 빠르기 때문에 많은 양의 비활성기체, 수소 및 기타 흡수 가능한 가스를 동시에 처리할 수 있다는 장점이 있습니다. 내부 보호 차폐막이 NEG 작동 수명을 극대화합니다.
다목적의 콤팩트한 Ion CombiNEG 150-100/2000 펌프는 초고 또는 고진공 상태에서 펌핑 속도를 높여야 하는 까다로운 응용 분야에 적합합니다.
특징
특징
StarCell 또는 다이오드 이온 펌핑 요소는 비활성기체에 대한 펌핑 속도가 우수하고, NEG 카트리지는 반응 기체에 대한 펌핑 속도가 높기 때문에 펌핑 속도를 함께 높여 UHV/XHV 펌프 다운 속도를 단축합니다
매우 콤팩트한 설계를 자랑하는 소결 NEG 카트리지는 저품질 압축형 파우더 NEG 카트리지에 대한 우수한 솔루션으로 파우더가 시스템으로 방출될 위험을 없앱니다.
ConFlat 6² 고정형 주입구 플랜지 및 NEG 카트리지용 추가 ConFlat 6² 측면 포트로 이용 가능
방향에 따른 피드스루 선택으로 유연성 극대화
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 43 kg (94 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 6인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer
히터 전력 : 480W
히터 전압 : 100-120/200-240V
NEG 카드리지
NEG 카드리지
SAES GETTERS D400-2, D1000 및 D2000 비증발형 게터 카트리지는 저품질의 압축형 파우더 NEG 카트리지의 성능을 뛰어넘는 소결 St 172(Zr-V-Fe) 재료를 사용해 제작합니다. 매우 콤팩트한 구성에서도 높은 펌핑 속도를 달성할 수 있습니다. 각 게터 카트리지에는 플랜지 전원 피드스루와 직접 연결하는 내장 히터가 포함되어 있습니다. 활성화 및 모니터링 목적으로 베이크 가능 커넥터를 전원 공급 장치에 빠르고 쉽게 연결할 수 있습니다.
SAES GETTERS NEG 카트리지는 StarCell VacIon 펌프 내부에 직접 장착하는 경우 모든 가스에서 최고의 펌핑 속도를 제공합니다.
D400-2 NEG cartridge
D-1000 NEG cartridge
D-2000NEG cartridge
특징
특징
SAES 소결 카트리지는 반응 가스에 대한 펌핑 속도를 높여 UHV/XHV 펌프 다운 속도를 단축합니다
챔버에 직접 장착해 펌핑 속도를 극대화하거나 이온 펌프 측면 포트에 추가합니다
광학 차단 배플(baffles)은 튕겨 나온 티타늄으로부터 카트리지를 보호해 수명을 연장합니다
내장된 히터를 사용해 카트리지를 쉽게 활성화할 수 있습니다.
카탈로그
카탈로그
data-sheet-ion-combineg-pump-40-400-5994-0871en-agilent.pdfdata-sheet-ion-combineg-pump-150-1000-150-2000-5994-1168en-agilent.pdfGoogle Sites
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