Turbo Molecular Pumps

Turbo-V Series

Turbo-V550 Navigator 펌프

Turbo-V 551 Navigator 펌프는 DN 160 설치 시 550L/s의 펌핑 속도와 경질 가스에 대한 높은 압축비를 제공하며, 견고한 설계 덕분에 까다로운 응용 분야에서도 높은 펌프 용량을 보장합니다. Turbo-V 551은 높은 압축비, 높은 포어라인 압력 허용 오차 및 유지보수가 필요없는 작동을 보장하며 소유 비용이 낮고 신뢰할 수 있는 고성능 펌프입니다.

Turbo-V 551은 핵 연구, 유리 코팅 시스템, 이온 주입 장치, 표면 분석 및 극저온 응용 분야를 위한 탁월한 선택입니다. SEM 및 기타 진동에 민감한 응용 분야를 위한 특수 저진동 버전은 요청 시 제공됩니다.

펌프의 스마트 컨트롤러는 시스템 요구 사항에 맞게 펌프 성능을 자동으로 최적화합니다.

사양서

기본 압력 : <1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Air cooling or Water cooling
명목 회전 속도 : 42,000 rpm
압축비 : H2( 1 x 106) He(1 x 107) N2(1 x 109)
작동 위치 : Any poistion
펌핑 속도 - H2 : 510 L/s
펌핑 속도 - He : 600 L/s
펌핑 속도 - N2 : 550 L/s
포어라인 플랜지 크기 : KF25 NW
플랜지 유형 : DN160

Turbo-V701 Navigator 펌프

Turbo-V 701 Navigator 펌프는 DN 200 설치 시 700L/s의 펌핑 속도와 경질 가스에 대한 높은 압축비를 제공하며, 견고한 설계 덕분에 까다로운 응용 분야에서도 높은 펌프 용량을 보장합니다. Turbo-V 701은 높은 압축비, 높은 포어라인 압력 허용 오차 및 유지보수가 필요없는 작동을 보장하며 소유 비용이 낮고 신뢰할 수 있는 고성능 펌프입니다.

Turbo-V 701은 핵 연구, 유리 코팅 시스템, 이온 주입 장치, 표면 분석 및 극저온 응용 분야를 위한 탁월한 선택입니다. SEM용 및 기타 진동에 민감한 응용 분야를 위한 특수 저진동 버전은 요청 시 제공됩니다.

펌프의 스마트 컨트롤러는 시스템 요구 사항에 맞게 펌프 성능을 자동으로 최적화합니다.

사양서

기본 압력 : <1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Air cooling or Water cooling
명목 회전 속도 : 42,000 rpm
압축비 : H2( 1 x 106) He(1 x 107) N2(1 x 109)
작동 위치 : Any poistion
펌핑 속도 - H2 : 510 L/s
펌핑 속도 - He : 620 L/s
펌핑 속도 - N2 : 690 L/s
포어라인 플랜지 크기 : KF25 NW
플랜지 유형 : DN200

Turbo-V1001 Navigator 펌프

Turbo-V 1001은 DN 160, 200 및 250 설치 시 최대 1,050L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. Turbo-V 1001은 높은 압축비, 높은 포어라인 압력 허용 오차 및 유지보수가 필요없는 작동을 보장하며 소유 비용이 낮고 신뢰할 수 있는 고성능 펌프입니다.

Turbo-V 1001은 탄화수소를 사용하지 않고 작동하며 대형 UHV 시스템, 핵 연구, 이온 주입기, 표면 분석, 전자 현미경 및 높은 펌핑 속도가 필요한 모든 응용 분야에 탁월한 선택입니다.

특징

경질 가스에 대한 높은 압축비로 DN 160, 200, 250 주입구 플랜지를 사용하여 낮은 기본 압력에서 작동 가능
깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 불포함 제품
원격 컨트롤러로 100m 떨어진 위치에서 작동 가능
위치에 구애받지 않는 설치로 손쉽게 통합 가능
베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
전자 장치가 내장되지 않은 방사선 및 자기장 방지 설계로 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능
전자기 방출량이 낮아 적용 프로세스에서 간섭이 발생하지 않음
시스템에 영향을 주지 않는 낮은 진동 및 소음 레벨

사양서

권장 포어펌프 용량 : 15 m³/h
기본 압력 : <1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Air cooling or Water cooling
노이즈 수준 : 45 dB
명목 회전 속도 : 38,000 rpm (633Hz)
무게 : 21.2Kg
압축비 : H2(1 x 106) He(1 x 107) N2(1 x 109)
작동 위치 : Any poistion
작동 온도 : +5 to +35 °C
최대 가스 처리량 - Ar : 수냉 444sccm
최대 가스 처리량 - N2 : 수냉 592sccm
펌핑 속도 - H2 : 920 L/s
펌핑 속도 - He : 900 L/s
펌핑 속도 - N2 : 1050 L/s
포어라인 허용 압력 - N2 : 12mbar
표준물질 및 인증: CE, C-CSA-US, 2011/65/UE에 따른 RoHS 준수
플랜지 유형 : DN160, DN200, DN250

Turbo-V K-GSeries

Turbo-V 1K-G펌프

고효율 Agilent Turbo-V 1K-G 터보 분자 펌프는 전용 진공 펌핑 시스템으로 1000L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. Turbo-V 1K-G는 산업용, 특히 박막 증착 장비용 터보 펌프로 설계되었습니다. 펌핑 스테이지 및 전체 펌프 구조는 고온 로드 상태에서 매우 높은 유량의 아르곤과 함께 작동할 수 있도록 최적화되어 있습니다.

일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치, 랙 유형 또는 온보드 솔루션 덕분에 Turbo-V 1K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.

특징

박막 증착을 위해 설계된 응용 분야별 펌핑 솔루션
매우 높은 아르곤 흐름에서 작동하도록 최적화됨
높은 가스 흐름을 관리할 수 있어 DN 160 또는 200을 사용하여 고처리량 응용 분야에서 작동 가능
지속적인 작동을 위한 견고한 디자인과 고효율 냉각 시스템
펌프 가스 퍼지는 펌프 베어링을 보호하고 시스템 오염 물질 및 미립자로 원활한 작동을 허용합니다.
시스템에 영향을 주지 않는 낮은 소음 레벨
콤팩트한 크기와 위치에 구애받지 않는 설치로 손쉽게 통합 가능
베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
다목적 전자 인터페이스

사양서

권장 포어펌프 용량 : 20 m³/h
기본 압력 : 1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Water cooling
명목 회전 속도 : 45,660 rpm (761Hz)
무게 : 26.8Kg
압축비 : H2(1.5 x 104) He(>4 x 104) N2(>5 x 107)
작동 위치 : Any poistion
작동 온도 : +5 to +35 °C
펌핑 속도 - Ar : 1040 L/s
펌핑 속도 - H2 : 730 L/s
펌핑 속도 - He : 1150 L/s
펌핑 속도 - N2 : 1080 L/s
포어라인 허용 압력 - N2 : 3 mbar
표준물질 및 인증:
UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011Cl. A
EN 61000-4-2
EN 61000-4-3
EN 61000-4-4
EN 61000-4-5
EN 61010-1
EN 1012-2
플랜지 유형 : DN160 ISO-F, DN200 ISO-F

Turbo-V 2K-G 펌프

고효율 터보 분자 펌프인 Turbo-V 2K-G는 전용 진공 펌핑 시스템으로 1600L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. Turbo-V 2K-G는 산업용 특히 박막 증착 장비용 터보 펌프로 설계되었습니다. 펌핑 스테이지 및 전체 펌프 구조는 고온 로드 상태에서 매우 높은 유량의 아르곤과 함께 작동할 수 있도록 최적화되어 있습니다.

견고한 설계를 사용한 터보 펌프는 혹독한 제조 환경에 적합합니다. 일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치 통합 솔루션 덕분에 Turbo-V 3K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.

특징

박막 증착을 위해 설계된 응용 분야별 펌핑 솔루션
매우 높은 아르곤 흐름에서 작동하도록 최적화됨
펌프와 컨트롤러가 통합되어 있어 설치 공간을 줄이고 간단히 작동할 수 있도록 어떠한 위치에도 설치할 수 있습니다.
높은 가스 흐름을 관리할 수 있어 DN 250을 사용하여 고처리량 응용 분야에서 작동 가능
지속적인 작동을 위한 견고한 디자인과 고효율 냉각 시스템
펌프 가스 퍼지는 펌프 베어링을 보호하고 시스템 오염 물질 및 미립자로 원활한 작동을 허용합니다.
시스템에 영향을 주지 않는 낮은 소음 레벨
베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
이동 중 및 Profibus 사용 시 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
아날로그 I/O 신호 및 A-Plus 소프트웨어를 통한 원격 제어를 위한 RS232/RS485 등의 다목적 전자 인터페이스

사양서

권장 포어펌프 용량 : 40 m³/h
기본 압력 : 1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Water cooling
명목 회전 속도 : 33,000 rpm (550Hz)
무게 : 35 Kg
압축비 : H2(3 x 105)
작동 위치 : Any poistion
작동 온도 : +5 to +40 °C
펌핑 속도 - Ar : 1400 L/s
펌핑 속도 - N2 : 1600 L/s
포어라인 허용 압력 - N2 : 3 mbar
표준물질 및 인증:
EN 55011(무선 방해 특성)
EN 61000- 3- 2(고조파 전류 방출 제한)
EN 61000- 3- 3(전압 변화 제한, 전압 변동 및 플리커)
EN 61000- 6- 2 및 EN 61326(산업 환경 내성):
EN 61000- 4- 2(정전기 방전 현상)
EN 61000- 4- 3(방사 고주파 현상)
EN 61000- 4- 4, EN 61000- 4- 5, EN61000- 4-6(전도 고주파 현상)
EN 61000-4- 11(전압 변동, 전압 강하 및 단락 방해)
플랜지 유형 : DN250 ISO-F

Turbo-V 3K-G 펌프

Agilent Turbo-V 3K-G 고효율 터보 분자 펌프는 박막 증착 장치용 터보 펌프로 사용하기 위해 특별히 설계된 전용 진공 펌핑 시스템입니다. 펌핑 스테이지 및 전체 펌프 구조는 고온 로드 상태에서 매우 높은 유량의 아르곤과 함께 작동할 수 있도록 최적화되어 있습니다.

견고한 설계를 사용한 터보 펌프는 혹독한 제조 환경에 적합합니다. 일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치 덕분에 Turbo-V 3K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.

특징

박막 증착을 위해 설계된 응용 분야별 펌핑 솔루션
매우 높은 아르곤 흐름에서 작동하도록 최적화됨
펌프와 컨트롤러가 통합되어 있어 설치 공간을 줄이고 간단히 작동할 수 있도록 어떠한 위치에도 설치할 수 있습니다.
높은 가스 흐름을 관리할 수 있어 DN 250을 사용하여 고처리량 응용 분야에서 작동 가능
지속적인 작동을 위한 견고한 디자인과 고효율 냉각 시스템
펌프 가스 퍼지는 펌프 베어링을 보호하고 시스템 오염 물질 및 미립자로 원활한 작동을 허용합니다.
시스템에 영향을 주지 않는 낮은 소음 레벨
베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
이동 중 및 Profibus 사용 시 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
아날로그 I/O 신호 및 A-Plus 소프트웨어를 통한 원격 제어를 위한 RS232/RS485 등의 다목적 전자 인터페이스

사양서

권장 포어펌프 용량 : 60 m³/h
기본 압력 : 1 x 10-10 mbar
냉각방법 : Water cooling
명목 회전 속도 : 31,800 rpm (530Hz)
무게 : 52 Kg
압축비 : He(6 x 103) N2(>1 x 107)
작동 위치 : Any poistion
작동 온도 : +5 to +35 °C
펌핑 속도 - Ar : 2050 L/s
펌핑 속도 - He : 1900 L/s
펌핑 속도 - N2 : 2200 L/s
포어라인 허용 압력 - N2 : 0.5 mbar
표준물질 및 인증:
EN 55011(무선 방해 특성)
EN 61000- 3- 2(고조파 전류 방출 제한)
EN 61000- 3- 3(전압 변화 제한, 전압 변동 및 플리커)
EN 61000- 6- 2 및 EN 61326(산업 환경 내성):
EN 61000- 4- 2(정전기 방전 현상)
EN 61000- 4- 3(방사 고주파 현상)
EN 61000- 4- 4, EN 61000- 4- 5, EN61000- 4-6(전도 고주파 현상)
EN 61000-4- 11(전압 변동, 전압 강하 및 단락 방해)
플랜지 유형 : DN250 ISO-F

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