Ion Pumps(대형)

대형 이온 펌프

VacIon Plus 150 펌프

높은 펌핑 속도를 제공하는 VacIon Plus 150L/s 펌프는 6인치 Conflat 플랜지를 사용해 장착하기 때문에 풋프린트가 크지 않으며, 일반적으로 초고 및 고진공 상태가 매우 중요한 실험실에서 사용됩니다. 세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 대기 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 다량의 비활성기체(비활성 다이오드보다 뛰어남) 및 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체 펌핑이 필요한 범용 응용 분야에서 사용됩니다.

VacIon 150

VacIon 150 Slim body

특징

StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 6² 고정형 플랜지, 추가 6² ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
크기가 매우 중요한 경우 이용할 수 있는 콤팩트한 디자인 바디 버전

사양서

도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 43 kg (94 lbs)
요소 유형 : StarCell, Diode
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 6인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 480W
히터 전압 : 100-120/200-240V

VacIon Plus 200 펌프

VacIon Plus 200L/s 펌프는 펌프 다운 속도를 단축합니다(피크 펌핑 속도: 10–8mbar). 자기장이 최적화되었기 때문으로 UHV 및 XHV 상태가 매우 중요한 경우에 적합합니다. 이 펌프는 vacuum firing 프로세스를 거쳤으며, 수소 탈기를 최소화합니다.

세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 비활성 다이오드와 비교해 더 많은 비활성기체를, 다이오드와 비교해 더 많은 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체의 펌핑이 필요한 범용 UHV 및 XHV에서 사용합니다.

특징

StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 8인치 고정형 플랜지, 추가 2.75인치 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능

사양서

도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 45 kg (99 lbs)
요소 유형 : StarCell, Diode
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 8인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 480W
히터 전압 : 100-120/200-240V

VacIon Plus 300 펌프

높은 펌핑 속도를 제공하는 VacIon Plus 300L/s 펌프는 풋프린트와 중량이 적당하고, 초고 및 고진공 상태가 매우 중요한 실험실에서 사용됩니다.

이러한 펌프는 세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 대기 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV 응용 분야용입니다. StarCell 요소는 다량의 비활성기체(비활성 다이오드보다 뛰어남) 및 수소(다이오드와 비교 가능)를 처리합니다. StarCell은 메탄, 아르곤 및 헬륨에서 사용하는 경우 가장 높은 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 아르곤 및 기타 비활성기체의 펌핑이 필요한 범용 UHV 및 XHV에서 사용합니다.

특징

StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 8인치 고정형 플랜지, 추가 8인치 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능

사양서

도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 69 kg (149 lbs)
요소 유형 : StarCell, Diode
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 8인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 580W
히터 전압 : 100-120/200-240V

VacIon Plus 500 펌프

VacIon Plus 500L/s 펌프는 규모가 더 큰 응용 분야에 뛰어난 펌핑 속도를 제공합니다. 초고 및 고진공 상태가 매우 중요한 경우에 사용되며, 입자 가속기 및 중력파 간섭계용 펌프로 적합합니다.

이러한 펌프는 세 가지 유형의 요소로 사용할 수 있습니다. 다이오드 요소는 수소 펌핑 속도를 최대한으로 올리는 것이 매우 중요하고 시스템에 통풍구가 없거나 대기 누출 가능성이 있는 범용 UHV 및 XHV용입니다. StarCell 요소는 다량의 비활성기체(비활성 다이오드보다 뛰어남) 및 수소(다이오드와 비교 가능)를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 비활성 다이오드 요소는 잔존 비활성기체 펌핑이 필요한 범용 UHV 및 XHV에서 사용합니다.

특징

StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 8인치 고정형 플랜지, 추가 8인치 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능

사양서

도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 120 kg (264 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 8인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 780W
히터 전압 : 100-120/200-240V

VacIon Plus 800 펌프

VacIon Plus 800L/s 펌프는 대형 시스템에 뛰어난 속도를 제공합니다. 초고 및 극초고 진공 상태가 매우 중요한 경우에 사용되며, 입자 가속기 및 대형 간섭계용으로 적합합니다.

이 800L/s 이온 펌프에는 StarCell 엘리먼트가 사용되어 다량의 비활성 가스와 수소를 처리할 뿐만 아니라 메탄, 아르곤 및 헬륨에 대해 최고의 펌핑 속도와 용량을 제공합니다. 추가 측면 포트를 사용할 수 있는 8² 또는 10² CFF 플랜지 중에서 선택할 수 있습니다.

특징

StarCell 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 8" 또는 10" 고정형 플랜지, 추가 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능

VacIon Plus 1000 펌프

VacIon Plus 1000L/s 펌프는 대형 시스템에 뛰어난 속도를 제공합니다. 초고 및 고진공이 매우 중요한 경우에 사용되며, 입자 가속기 및 중력파 간섭계에 적합합니다.

특징

StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소로 이용 가능하며, 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 12² 고정형 플랜지, 추가 ConFlat 포트, 더블앤드 및 사이드 포트와 함께 사용 가능, 다양한 방향으로 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, Safeconn) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능

사양서

도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 265 kg (585 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 12인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer
히터 전압 : 100-120/200-240V

카탈로그

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