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소형 이온 펌프
소형 이온 펌프
초소형 이온 펌프
초소형 이온 펌프
부속 이온 펌프라고도 불리는 애질런트 초소형 VacIon 펌프는 다이오드 또는 비활성 다이오드 구성으로 제공되며, 0.4L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. 이러한 초소형 이온 펌프는 가볍고, 매우 낮은 자기장을 방출할 뿐만 아니라 최대 베이크 온도가 400°C에 이릅니다.
1950년대 말에 애질런트(Varian)에서 이온 펌프를 발명한 이래로 애질런트 초소형 펌프가 방위, 우주, 전기통신, 연구 및 의료기기와 같은 다양한 응용 분야를 아우르는 산업 분야에서 선두를 달리고 있습니다. 초고 또는 고진공 압력에서 전자관의 작동 수명을 보존하는 데 사용되는 경우가 많습니다.
특징
특징
밀폐 장치에서 초고 진공 상태를 유지하기 위해 일반적으로 사용하는 0.4L/s 부속 펌프
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학 및 펌핑 셀 배치를 통한 사용자 맞춤형 제품 제작으로 요구 충족
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
펌프 마그넷 어셈블리 패키지는 별도로 주문해야 합니다
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 0.3 kg (0.66 lbs)
주입구 플랜지 : 3/8인치 튜브
최대 베이킹 온도 : 150 °C
최대 시작 압력 : ≤ 1 x 10-4mbar
피드스루 스타일 : Miniature
VacIon 2L/s 펌프
VacIon 2L/s 펌프
애질런트 VacIon 2L/s 펌프는 효과적인 무진동 UHV 펌핑을 제공해 장치 작동 수명 동안 마이크로파 및 무선 주파수 튜브 기능을 유지합니다. 이러한 소형 다이오드 요소, 2L/s 이온 펌프는 민감한 소형 시스템이나 자기장이 낮아야 하는 장비의 다양한 응용 분야에서 사용할 수 있습니다. 맞춤형으로 제작해 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.
특징
특징
밀폐 장치에서 초고 진공 상태를 유지하기 위해 일반적으로 사용하는 0.4L/s 부속 펌프
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학 및 펌핑 셀 배치를 통한 사용자 맞춤형 제품 제작으로 요구 충족
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
펌프 마그넷 어셈블리 패키지는 별도로 주문해야 합니다
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 0.3 kg (0.66 lbs)
작동 수명 : 8,000시간
주입구 플랜지 : 1 1/3인치 튜브
최대 베이킹 온도 : 150 °C
최대 시작 압력 : ≤ 1 x 10-4mbar
피드스루 스타일 : Fischer
VacIon 10L/s 펌프
VacIon 10L/s 펌프
애질런트 VacIon 10L/s 펌프는 비활성기체에 최적화된 다이오드 또는 비활성 다이오드 구성이 특징으로 수소와 같은 잔존 기체에 대한 효율성이 높습니다. 이러한 펌프는 비활성기체 부하를 처리하기 위한 펌핑 속도 및 기능이 중요하지만, 제한된 설치 공간 때문에 콤팩트한 크기 또한 포기할 수 없는 응용 분야에서 일반적으로 사용됩니다.
학계와 실험실 연구 환경에서 일반적으로 사용되는 이러한 소형 이온 펌프는 다양한 UHV 및 XHV 응용 분야에 무입자, 무진동 솔루션을 제공합니다.
특징
특징
밀폐 장치에서 초고 진공 상태를 유지하기 위해 일반적으로 사용하는 10L/s 펌프
수소와 같은 잔존 기체 및 비활성기체에 최적화, 뛰어난 UHV 성능
ConFlat 2.75 회전식 플랜지와 함께 사용 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학 및 펌핑 셀 배치를 통한 사용자 맞춤형 제품 제작으로 요구 충족
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
펌프 마그넷 어셈블리 패키지는 별도로 주문해야 합니다
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 4 kg (9 lbs)
작동 수명 : 40,000시간
주입구 플랜지 : CF 2.75인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤ 1 x 10-4mbar
피드스루 스타일 : Varian Diode
중형 이온 펌프
중형 이온 펌프
VacIon Plus 20 펌프
VacIon Plus 20 펌프
애질런트 VacIon Plus 20 펌프는 중형 20L/s 이온 펌프입니다. 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구의 다양한 초고 및 고진공 응용 분야뿐만 아니라 의료영상 및 방사선 치료에 사용되는 장비에도 적합합니다.
이 펌프는 범용 다이오드 요소를 사용하거나 가스 혼합물 펌핑할 때는 StarCell 및 비활성 다이오드 요소를 사용할 수 있습니다. 특허받은 StarCell 요소는 다량의 비활성기체와 수소를 처리하고, 메탄, 아르곤, 헬륨에 사용하는 경우 최고의 속도와 용량을 제공합니다. 요소 유형, 일체형 히터, 고전압 피드스루와 같이 고객이 선택하는 옵션을 이용해 시스템을 쉽게 통합하고 일관된 무입자 UHV 펌핑 성능을 제공할 수 있습니다.
특징
특징
StarCell, 다이오드 및 불활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 달성
ConFlat 2.75²인치 회전형 플랜지와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV(Safeconn)) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 7 kg (15 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 2.75인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 140W
히터 전압 : 100-120/200-240V
VacIon Plus 40 펌프
VacIon Plus 40 펌프
애질런트 VacIon Plus 40 펌프는 중형 40L/s 이온 펌프로 전자 장치 소개 및 전자 현미경(SEM) 스캐닝용으로 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구에서 범용 UHV 및 XHV 시스템에 사용합니다.
이 펌프는 안정적인 진공과 낮은 누설 전류를 제공하기 때문에 SEM 응용 분야에서 중요한 구성품을 보호합니다. 특허받은 양극 설계와 StarCell 요소의 결합을 통해 강력한 솔루션을 제공해 E-beam 컬럼을 최적화합니다. 고전압(HV) 피드스루와 같은 사용자 선택 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
특징
특징
StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 2.75²인치 고정형 플랜지, 추가 2.75²인치 ConFlat 포트와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 17 kg (37 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 2.75인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 250W
히터 전압 : 100-120/200-240V
VacIon Plus 55 펌프
VacIon Plus 55 펌프
애질런트 VacIon Plus 55 펌프는 55L/s 이온 펌프로 전자 장치, 민감한 전자 현미경 소개 및 입자 가속기, 싱크로트론 링 및 표면 분석 응용 분야에서 UHV 압력을 달성하기 위한 범용 초고 및 고진공 시스템에서 일반적으로 사용됩니다.
특허받은 StarCell 요소는 비활성기체 및 수소에 대해 세계 최고 수준의 펌핑 속도를 제공하며, 메탄, 아르곤 및 헬륨에서 사용하는 경우 가장 높은 용량을 제공합니다. 광학 배플(baffles), 통합형 히터 및 고압 피드스루와 같은 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
특징
특징
StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 4.5²인치 고정형 플랜지, 추가 2.75²인치 ConFlat 포트와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 18 kg (40 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 4.5인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 250W
히터 전압 : 100-120/200-240V
VacIon Plus 75 펌프
VacIon Plus 75 펌프
애질런트 VacIon Plus 75 펌프는 75L/s 이온 펌프로 학계 및 고에너지 물리학(HEP) 연구의 초고 및 고진공 응용 분야에서 사용됩니다. 다른 VacIon Plus 중이온 펌프와 동일한 콤팩트한 크기에도 펌핑 속도를 높이기 때문에 펌핑 속도를 높여야 하는 대형 챔버 응용 분야에 적합합니다.
특허받은 StarCell 요소는 비활성기체 및 수소에 대해 세계 최고 수준의 펌핑 속도를 제공하며, 메탄, 아르곤 및 헬륨에서 사용하는 경우 가장 높은 용량을 제공합니다. 광학 배플(baffles), 통합형 히터 및 고전압(HV) 피드스루와 같은 옵션을 사용해 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다.
특징
특징
StarCell, 다이오드 및 비활성 다이오드 요소 중에서 선택해 다양한 기체에 대해 최고의 펌핑 속도 제공
ConFlat 6²인치 고정형 플랜지, 추가 2.75²인치 ConFlat 포트와 함께 사용 가능 및 다양한 방향의 피드스루(Fischer, King, DESY, Varian, SHV 10kV (Safeconn)) 선택 가능
움직이는 부품이 없기 때문에 민감한 응용 분야에서 무진동 작동 가능
낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
>400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성 보장
고전압 피드스루, 바디 기하학, 추가 포트 및 펌핑 셀 배치를 통해 사용자 맞춤 가능 및 광학 차단 배플(baffles), 외부 히터 및 자기 차폐물을 사용해 요구 충족 가능
전자 간섭을 최소화하기 위한 초저 누설 전류 및 높은 안정성을 자랑하는 SEM 버전
특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차
사양서
사양서
도달 압력 (최대 진공도) : < 1 x 10-11 mbar
무게(펌드만 해당) : 18 kg (40 lbs)
요소 유형 : StarCell
작동 수명 : 80,000시간
주입구 플랜지 : CF 4.5인치
최대 베이킹 온도 : 350 °C
최대 시작 압력 : ≤5 x 10-2mbar
피드스루 스타일 : Fischer SHV
히터 전력 : 250W
히터 전압 : 100-120/200-240V
<카탈로그>
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