低真空走査電子顕微鏡　SU6600 (日立ハイテク)

電子線を観察試料表面に照射し、試料から放出される電子線を検出して得られる画像を観察する高分解能表面分析装置です(最高倍率x600,000)。検出する電子線の種類によって表面の凹凸情報や構成する元素の組成情報を得ることができます。低真空モードでは導電性の乏しい試料観察が可能。本装置にはエネルギー分散型X線分析装置も搭載されており、試料の微細構造観察とあわせて元素分析も同時に行うことができます。