超広領域走査電子顕微鏡

MultiSEM505（Zeiss）

世界最高速で広領域の画像が取得できるマルチビーム走査電子顕微鏡です。61本の電子線を並行照射して61枚の画像を同時取得、数秒で約100µm四方の範囲を高分解能(4nm/pixel)で画像化することができます。さらに精細な観察ステージ制御により，数mm～数cm四方の電顕用切片上を隅から隅まで移動しながら全表面の画像を自動取得でき、10cm四方の試料台上のサンプル観察が可能です。また、連続切片観察により三次元解析も可能です。