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S. Yeo, J. M. C, G. Kang, C. Kim, G. W. Jeon, and Y. J. Yoon*, "Transient Superhydrophilic Surface Modification of Polyimide by Metal Ion Beam Irradiation" Langmuir 40, 12200 (Published: May 2024)
본 논문에서는 Polyimide에 Metal 이온종의 주입 공정을 진행하여, 초친수/초소수성을 확인하였음. Metal 이온 주입으로 인하여 polyimide 표면 변화를 유도하여 시간 경과에 따라 초친수성에서 초소수성으로 변하는 과정을 관찰하였고, 이온 주입 조건 변화에 따라 초친수/초소수성 특성이 달라지는 것을 확인하였음.
J. H. Heo, S. H. Lee, J. Park, G. E. Kang, Y. J. Yoon*, and I. M. Kang*, "Fabrication of recessed-gate AlGaN/GaN MOSFETs using TMAH wet etching with Cu ion implantation" Results Phys. 40, 107701 (Published: May 2024)
본 논문에서는 새로운 이온 주입 공정을 이용한 recessed wet etching 공정을 개발하고, GaN 전력반도체 기반 normally-off 소자인 recessed-gate MOSFET를 제작하였음. 기존 dry etching 방식보다 우수한 특성을 보여주었으며, 공정 제작, 전류 특성 측정을 통하여 소자의 우수성을 검증하였음.