Research

Join Our Team / 奈米光電實驗室 徵求大學部專題生。

• 推薦表現優良同學申請台積電研究助理獎助學金。

• 可選擇申請大專生專題計畫，國科會有獎助學金補助。

• 可選擇參與台積電計劃，推薦表現優良同學參與台積電暑期實習。

執行中計畫：

• 國科會計畫 (超穎介面晶片光譜儀:設計、製作及生醫應用)

• 台積電計畫

• 日月光計畫

學生榮譽事蹟：

• 2024 林○○同學榮獲台積電研究助理獎助學金

• 2023 林○○同學榮獲台積電研究助理獎助學金

• 2023 陳○○同學獲得國科會補助大專學生研究計畫

• 2023 洪○○同學獲聘參與台積電暑期實習

• 2023 洪○○同學榮獲台積電研究助理獎助學金

• 2023 許○○同學榮獲台積電研究助理獎助學金

有興趣加入本實驗室的同學可與林俊宏老師聯絡。
(可先寫 email 約定進ㄧ步瞭解的時間)

Email: chlin@ncku.edu.tw

本實驗室除了自行建立奈米壓印微影技術，並結合成大核心設施中心、國研院台灣半導體研究中心完善的奈米製程設備資源，同學在本實驗室、成大微奈米中心及國家奈米元件實驗室，可獲得完善的半導體製程訓練，並將此作為研究奈米電元件的堅強後盾。

目前多位畢業碩、博士同學在台積電研發部門工作。

研究領域：

本實驗室主要致力於奈米微影/奈米製造技術研究，以及應用奈米技術於奈米光電及生醫應用研究。

在半導體製程技術中，微影(Lithography)技術 (電子束微影術影片介紹) 不但是實現積體電路微小化的關鍵性技術之一，而且是半導體製程中最重要的一環，在現今先進半導體製程中，微影製程已經佔了整個半導體製造總成本的三分之一以上，由此可見其重要性。微影技術除了在奈米電子的製造扮演重要性的角色之外，亦是具體實現應用在光電、機械、生物等領域之各式奈米元件的關鍵性製程技術；各式光電元件的微型化與效能增進(舉凡顯示器元件、LED發光元件、太陽能電池元件等)，均需微影技術的支持。由於奈米技術的實現，使得奈米光電的研究開創了許多過去所無法達到的可能性。

Relevant Terminology / 以下相關研究之專有名詞，可參考維基百科或奈米科學網：

• 奈米微影術(Nanolithography)

  • 新世代微影技術(Next-generation lithography)

    • • 奈米壓印微影術(Nanoimprint lithography)

      • 極紫外光微影術(Extreme ultraviolet lithography)

      • 電子束微影術(Electron beam lithography) (奈米科學網)

  • 光學微影術(Optical lithography) (奈米科學網)

    • • 雷射干涉微影(Interference lithography)

• 奈米光電(Nanophotonics)

  • 光子晶體(Photonic crystal) (奈米科學網)

    • • 可高自由度地操控光線的行進

      • 應用

        • 光電腦(Optical computer)

        • 光子晶體光纖(Photonic-crystal fiber)

        • 提昇LED發光效率 (奈米科學網1) (奈米科學網2)

        • 提昇Solar cell效率 (奈米科學網)

        • 高效能抗反射與高反射光學鍍膜(ㄧ維光子晶體)

  • 光學超穎材料(Metamaterial)

    • • 負折射率材料(Negative index metamaterials) (奈米科學網)

      • 超級透鏡(Superlens) (奈米科學網1) (奈米科學網2)

      • 超級菱鏡(Superprism)

      • 隱形超穎材料(Metamaterial cloaking) (奈米科學網1) (奈米科學網2)

      • 超穎天線(Metamaterial antennas) (奈米科學網)

  • n  表面電漿共振(Surface plasmon resonance)

    • • 生物感測器(Biosensor) (奈米科學網1) (奈米科學網2)

      • 異常光學穿透現象(Extraordinary optical transmission) (奈米科學網)

      • 利用光驅動的奈米電漿子馬達 (奈米科學網)

  • 奈米高效率抗反射、高效率高穿透結構

    • • 顯示面板應用 (奈米科學網)

      • 太陽能電池應用 (奈米科學網1) (奈米科學網2)

      • 可撓式LED發光 (奈米科學網)

Research Achievements 實驗室研究成果：

See the following classification of research findings (some studies may span multiple fields).

見以下研究分類整理(部分研究會同時包含多個領域)。

1.      T.W. Yeh, Y.H. Hung, C.S. Chung, S.J. Yeh, H.Y. Lee, and C.H. Lin*, “Nanotransfer Printed Dual-Layer Metasurfaces for Infrared Cut-off Applications,” ACS Appl. Nano Mater. 2024, 7, 25593-25602 (IF: 5.3)
此為日月光產學計劃研究成果！

2.      M.H. Li, J.J. Chen, Y.S. Chen, S.T. Lin, B.H. Lin, M.Y. Kuo, C.H. Lin*, H. Chen*, and J. Han, “Development of a broadband photodetector utilizing ZnO nanorods with grating structure fabricated via nanoimprint lithography,” Sens. Actuator A-Phys. 2024, 375, 115530 (IF: 4.1)

3.      A.K. Sahoo, P.H. Chen, C.H. Lin*, R.S. Liu*, B.J. Lin*, T.S. Kao, P.W. Chiu, T.P. Huang, W.Y. Lai, J. Wang, Y.Y. Lee, and C.K. Kuan, “Development of EUV Interference Lithography for 25 nm Line/space patterns,” Micro. Nano. Eng. 2023, 20, 100215 (IF: 2.8)

4.      H.L. Ho, J.Y. Yang, C.H. Lin, J. Shieh*, Y. Fang Huang, Y.H. Ho, T.S. Ko, C.C. Hsu, K.K. Ostrikov, “Plasma-Etched Nanograss Surface without Lithographic Patterning to Immobilize Water Droplet for Highly Sensitive Raman Sensing,” Adv. Mater. Interfaces 2023, 10, 2300291 (IF: 4.3)
此研究成果獲選為該雜誌之Journal Cover！

5.      Y.J. Huang, W.H. Chang*, Y.J. Chen, and C.H. Lin*, “Synthesis of Metal/SU-8 Nanocomposites through Photoreduction on SU-8 Substrates,” Nanomaterials 2023, 13, 1784 (IF: 4.4)

6.      Z.Y. Yang, W.H. Chang*, Y.C. Chiu, and C.H. Lin*, “Non-Invasive Detection of Bladder Cancer Markers Based on Gold Nanomushrooms and Sandwich Immunoassays,” ACS Appl. Nano Mater. 2023, 6, 5557-5567 (IF: 5.3)
此研究成果獲選為該雜誌之Journal Cover！

7.       C.R. Sheu, T.J. Wang, and C.H. Lin*, “Homeotropic liquid crystal alignments through periodically unidirectional nano-wedges patterned by nanoimprint lithography,” Micro. Nano. Eng. 2021, 12, 100090 (IF: 2.8)

8.       Y.J. Chen, W.H. Chang*, and C.H. Lin*, “Selective Growth of Patterned Monolayer Gold Nanoparticles on SU-8 through Photoreduction for Plasmonic Applications,” ACS Appl. Nano Mater. 2021, 4, 229-235  (IF: 5.3)

9.       Y.J. Chen, W.H. Chang*, C.Y. Li, Y.C. Chiu, C.C. Huang, and C.H. Lin*, “Direct synthesis of monolayer gold nanoparticles on epoxy based photoresist by photoreduction and application to surface-enhanced Raman sensing,” Materials & Design 2021, 197, 109211 (IF: 7.6)

10.   C.W. Lin, S.H. Chang, C.C. Huang, C.H. Lin*, “Plasmonic nanocavities fabricated by directed self-assembly lithography and nanotransfer printing and used as surface-enhanced Raman scattering substrates,” Microelectron. Eng. 2020, 227, 111309 (IF: 2.6)

11.   W.H. Chang*, Z.Y. Yang, T.W. Chong, Y.Y. Liu, H.W. Pan, and C.H. Lin*, “Quantifying Cell Confluency by Plasmonic Nanodot Arrays to Achieve Cultivating Consistency,” ACS Sensors 2019, 4, 1816-1824 (IF: 8.3)

12.   C.Y. Hu and C.H. Lin*, “A comparative study of inelastic scattering models at energy levels ranging from 0.5 keV to 10 keV,” Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. Sect. B-Beam Interact. Mater. Atoms 2017, 394, 103-112 (IF: 1.158)

13.   C.C. Liang, W.H. Chang, and C.H. Lin*, “Nanotransfer printing of plasmonic nano-pleat arrays with ultra-reduced nanocavity width using perfluoropolyether molds,” J. Mater. Chem. C 2016, 4, 4491-4504 (IF: 5.7)

14.   C.C. Liang, C.H. Lin*, T.C. Cheng, J. Shieh, and H.H. Li, “Nanoimprinting of Flexible Polycarbonate Sheets with a Flexible Polymer Mold and Application to Superhydrophobic Surfaces,” Adv. Mater. Interfaces 2015, 2, 1500030 (IF: 4.3)
此研究成果獲選為該雜誌之Back Cover！

15.   C.Y. Hu and C.H. Lin*, “Reverse ray tracing for transformation optics,” Opt. Express 2015, 23, 17622-17637 (IF: 3.2)

16.   C.H. Lin, J. Shieh*, C.C. Liang, C.C. Cheng, and Y.C. Chen, “Decreasing reflection through the mutually positive effects of nanograss and nanopillars,” J. Mater. Chem. C 2014, 2, 3645-3650 (IF: 5.7)

17.   C.H. Lin*, Y.C. Lin, and C.C. Liang, “Solid immersion interference lithography with conformable phase mask,” Microelectron. Eng. 2014, 123, 136-139 (IF: 2.6)

18.   W.Y. Chen, C.H. Lin*, and W.T. Chen, “Plasmonic phase transition and phase retardation: Essential optical characteristics of localized surface plasmon resonance,” Nanoscale 2013, 5, 9950-9956 (IF: 5.8)

19.   W.Y. Chen and C.H. Lin*, “Off-plane diffraction of extreme ultraviolet light caused by line width roughness,” Thin Solid Films 2012, 522, 79-84 (IF: 2.0)

20.   C.H. Lin*, Y.M. Lin, C.C. Liang, Y.Y. Lee, H.S. Fung, B.Y. Shew, and S.H. Chen, “Extreme UV diffraction grating fabricated by nanoimprint lithography,” Microelectron. Eng. 2012, 98, 194-197 (IF: 2.6)

21.   C.C. Liang, M.Y. Liao, W.Y. Chen, T.C. Cheng, W.H. Chang, and C.H. Lin*, “Plasmonic metallic nanostructures by direct nanoimprinting of gold nanoparticles,” Opt. Express 2011, 19, 4768-4776 (IF: 3.2)

22.   C.H. Lin*, C.H. Fong, Y.M. Lin, Y.Y. Lee, H.S. Fung, B.Y. Shew, and J. Shieh, “EUV interferometric lithography and structural characterization of an EUV diffraction grating with nondestructive spectroscopic ellipsometry,” Microelectron. Eng. 2011, 88, 2639-2643. (IF: 2.6)

23.   C.H. Lin*, H.H. Lin, W.Y. Chen, and T.C. Cheng, “Direct imprinting on a polycarbonate substrate with a compressed air press for polarizer applications,” Microelectron. Eng. 2011, 88, 2026-2029 (IF: 2.6)

24.   C.T. Wu, C.H. Lin, C. Cheng, C.S. Wu, H.C. Ting, F.C. Chang, and F.H Ko*, “Design of Artificial Hollow Moth-Eye Structures Using Anodic Nanocones for High-Performance Optics,” Chem. Mater. 2010, 22, 6583-6589 (IF: 7.2)

25.   W.Y. Chen and C.H. Lin*, “A standing-wave interpretation of plasmon resonance excitation in split-ring resonators,” Opt. Express 2010, 18, 14280-14292 (IF: 3.2)