機台使用資格 Qualification

更新時間: 2013/12/13

博士班101級：

洪喬方：NDL：D5000, ICP Etcher, P-10；光復NFC：濕式工作台,E-Gun(A),光罩對準曝光機,雙面光罩對準曝光機；博愛NFC：濕式工作台 WetBench

碩班100級：

王傑民：博愛Wet bench、黃光、ET4000； 光復Wet bench、E-gun、黃光、雙面對準曝光機； NDL：ICP-etcher、p-10表面輪廓儀

曲厚任：博愛NFC：Wet bench、黃光、ET4000； 光復NFC：Wet bench、黃光、雙面對準曝光機、E-gun蒸鍍、HDP-RIE、SEM； NDL：AFM D5000、ICP-etcher、p-10表面輪廓儀；CNST：AFM D3100

林柏榮：博愛NFC： Wet bench、黃光、ET4000；光復NFC：E-gun蒸鍍、Sputter-A濺鍍、Sputter-B濺鍍、Wet Bench、黃光室、雙面對準曝光機；NDL：AFM D5000, 感應耦合式電漿蝕刻系統(ICP-Etcher)；CNST：AFM D3100

曾佳元：博愛Wet bench、博愛黃光、光復Sputter-A濺鍍、光復黃光、光復雙面對準曝光機、NDL 感應耦合式電漿蝕刻系統 (ICP Etcher)、NDL 表面輪廓量測儀 (P-10 surface profiler)

羅文端：博愛Wet bench、博愛ET4000、博愛黃光、光復Sputter-A濺鍍、

碩班101級：

林士弘 : 博愛 : Wet bench、黃光；光復 : E-gun(A)、黃光、雙面對準曝光機、Wet bench； NDL：AFM D5000、ICP-etcher、p-10表面輪廓儀、

碩班102級：

劉子瑋：博愛NFC：Wet Bench、黃光室(Spiner, Aligner)、ET4000 ；光復NFC：E-gun A蒸鍍、Sputter-A濺鍍、Wet Bench；

CNST：AFM D3100、E-gun；NDL：AFM D5000

葉柏辰：博愛NFC：Wet bench、黃光室(Spiner Aligner)、ET4000 ; 光復NFC：E-gun A蒸鍍、Sputter-A濺鍍、黃光室(Spiner Aligner)、雙面對準曝光機；NDL：AFM D5000

陳勁中：博愛NFC：Wet bench、黃光室(Spiner Aligner) 光復NFC：黃光室(Spiner Aligner)、雙面對準曝光機

陳友仁：光復NFC：E-gun蒸鍍 博愛NFC：Wet bench NDL：AFM D5000 CNST：AFM D3100

李浩：T.B.D.

碩班103級：

王新閔：博愛NFC：Wet Bench、黃光室(Spiner, Aligner) ；光復NFC：E-gun A蒸鍍；CNST：AFM D3100；NDL：AFM D5000 、P-10