蔡松霖

製程技術：

1.濕式工作台 (Wet bench)

2.鋯鈦酸鉛壓電薄膜製程 (PZT sol-gel thin flim fabrication)

3.黃光微影實驗室(Lithography process)

4.雙電子槍蒸鍍系統 (Dual E-beam evaporation deposition)

5.雙面光罩對準曝光機 (Double-side aligner)