段 皓

e.研究方向

1.磁電式磁感測器

2.懸臂梁式三軸磁力式感測器

f.專業技能

半導體製程技術：

1.濕式工作台 (Wet bench)

2.鋯鈦酸鉛壓電薄膜製程 (PZT sol-gel thin flim fabrication)

3.黃光微影實驗室(Lithography process)

4.雙電子槍蒸鍍系統 (Dual E-beam evaporation deposition)

5.雙面光罩對準曝光機 (Double-side aligner)

6.真空濺鍍系統A (Sputter A)

7.感應藕合電漿蝕刻系統 (ICP-etcher)

半導體檢測技術：

1.掃瞄式探針顯微鏡 (Veeco Dimension 3100)

3.P-10表面輸廓分析儀