デバイス作製
成膜チャンバー
DC・RFスパッタ・電子線蒸着(5源)
ロードロック・チャンバー加熱
基板回転機構・リニアシャッター
光学顕微鏡
試料の表面観察
Arミリング
終点検出器(EPD)・基板回転機構
基板冷却機構付き
マスクレス露光装置
2-3umぐらいの細線が描けます。
ホール素子・スピントルク計測素子・
磁壁駆動素子などが作れます。
高周波計測
室温全方位電磁石プローバー
+磁気光学カー顕微鏡
高周波電気計測と磁気イメージングを同時に
x5, x50レンズ
温度可変電磁石プローバー(1軸)
温度を変えながら伝導測定
磁場: < 1 T (面内)
温度: 10-400 K
2 RF probe/2 DC probe
ベクトルネットワークアナライザ
高周波の透過・反射特性の評価
ベクトルネットワークアナライザ
高周波の透過・反射特性の評価
信号発生器(高出力)
磁気共鳴・スピン波/音波の励起
スピン流の生成に
信号発生器
磁気共鳴・スピン波/音波の励起
スピン流の生成に
パルス発生器
磁壁を動かします
リアルタイム
オシロスコープ
磁化ダイナミクスの実時間観測
リアルタイム
オシロスコープ
〇〇〇の実時間観測
面直電磁石+磁気光学カー顕微鏡
磁区を見ます
スペクトラムアナライザ
DC計測・磁化測定
物理特性測定システム PPMS
温度:2.3-400K
磁場:9T
磁場回転機構・Ever Cool付き
磁気特性測定システム MPMS
磁化の大きさを評価
使いたい方はご連絡ください
ナノボルトメータ
微小電圧測定
ロックインアンプ
微小電圧測定
直流電流源
安定したDC電流源
電流による磁気緩和制御に
計算機
マイクロマグネティックシミュレーション
2025.5月 立上げ予定?