特點：

信賴性

不論量測影像內的任何點，都能穩定且以高精度作量測

● 小型工件希望能以高精度作量測。

● 不論是誰都能作出一致性量測。

同等級最高的影像內量測精度

畫面內精度±1.5μm，高分解能模式下重覆精度為±0.7μm (QI-B系列)，可以大範圍對焦外，也可作高精度量測。

廣視野及高精度同時並存

利用子像素處理可作出高精度工件邊緣檢測。

高精度載物台

以±(3.5＋0.02L)μm精度，即使是各式各樣的大小，形狀的工件也能高精度且穩定地作量測，並取得具信賴性的數據。

長工作距離90mm

由於工作距離已確保在90mm，所以即使是凹凸不平的

工件，也不用擔心對焦上發生碰撞。

透過對焦方式排除人為誤差

採用本公司所開發的遠心光學系統。

段差在22mm的焦點深度範圍，依高度位置將誤差減至

最低，且透過對焦方式控制人為誤差作出正確的量測。

量測結果確認快速又簡單

視頻窗口測量結果顯示功能

量測結果及量測位置想直覺地作判定。

只需看量測影像，瞬間直覺了解量測結果。

l 利用OK/NG結果表示色不同，可馬上進行公差判定及鎖定NG處。

檢查報告書上直接貼附量測畫面，更能縮短資料製作時間並提昇效率。