El microscopio electrónico de Barrido o Scanning Electron Microscope (SEM) es un equipo con gran capacidad de aumento, y su funcionamiento se basa en el uso de un haz de electrones acelerados a gran velocidad que impactan con la muestra. Estos electrones interactúan con la muestra permitiendo, entre otras interacciones, arrancar electrones de la superficie. Mediante la utilización de detectores especializados es posible reconstruir una imagen de la muestra a partir de dichos electrones y visualizar la topografía que posee. De manera adicional es posible utilizar los electrones incidentes que son retrodisperados en la muestra, para generar una imagen que contiene información topográfica y también de contraste químico.

Los principales componentes del microscopio son: una fuente de emisión de electrones, lentes electromagnéticas, cámara de vacío, platina, detectores de electrones, detector de Rayos X y software para procesamiento de imagen.

La fuente de emisión es tipo Schottky, y es posible realizar imágenes simultáneas de electrones secundarios y retro dispersados Inlens y obtener información de alta resolución, de superficie y de composición, incluso en muestras sensibles o difíciles.

Los detectores integrados en el equipo son: Detectores de electrones secundarios (SE) en columna; Detector SE tipo Everhart-Thornley montado en la cámara; Detector EsB (detector de electrones retro dispersos en columna con filtro de energía); Detector aBSD1 VP (detector de electrones retro dispersos de estado sólido, multimodo, retráctil neumáticamente, integrado en la apertura de bajo vacío); y Detector aBSD1 (detector de electrones retro dispersos de estado sólido, multimodo, retráctil neumáticamente).

El equipo también incluye un sistema de microanálisis por dispersión de energía de rayos X (EDS) que permite analizar rápidamente las muestras, determinando qué elementos están presentes y cómo se distribuyen.

El Sistema NanoVP (Nano vacío a Presión variable) permite además utilizar los detectores InLens en modo de bajo vacío con una presión de hasta 150 Pa, lo que permite al usuario obtener imágenes de alta resolución en bajo voltaje, en muestras difíciles que no puedan observarse en alto vacío.