本實驗室設備可分為元件量測設備、晶片表面處理設備、生物化學處理設備等三個類別,可以在實驗室實作半導體元件製作完成後的所有表面處理與生醫感測量測實驗,晶片設計與製造則有「國研院台灣半導體研究中心」(https://www.tsri.org.tw/main.jsp)支援。
本實驗室設備可分為元件量測設備、晶片表面處理設備、生物化學處理設備等三個類別,可以在實驗室實作半導體元件製作完成後的所有表面處理與生醫感測量測實驗,晶片設計與製造則有「國研院台灣半導體研究中心」(https://www.tsri.org.tw/main.jsp)支援。
半導體元件量測設備
半導體元件量測系統
Semiconductor devices measurement system
量測控制系統
Mesurement system controller
四點探針量測儀
Four point probe measurement
高精密三用電錶
High precision current/voltage meters
低壓高溫爐管
Low-pressure high-temperatue furnace
金屬濺鍍機
Metal sputter
光學輪廓測厚儀
Optical profile meter
半導體參數分析儀
Semiconductor devices analyzer
晶片表面處理設備
氧電漿機
Oxygen plasma
低溫烤箱
low-temperature oven
真空手套箱
Vacuum grove box
恆溫烘箱
Constant-temperature oven
氮氣儲存櫃
Nitrogen storage cabinet
生物化學處理設備
針筒幫浦
Syringe pump
微量吸管
Micropipette
微量天平與熱烤盤
Microbalance and hot plate
正立螢光光學顯微鏡
Upright fluorescence optical microscope
化學排煙櫃
Chemical hood
其他設備
3D列印機
3D printer
真空晶片吸取
Vacuum wafer picker
晶片防潮箱
Wafer moisture-proof box
展示櫃
Showcase