本實驗室設備可分為元件量測設備、晶片表面處理設備、生物化學處理設備等三個類別,可以在實驗室實作半導體元件製作完成後的所有表面處理與生醫感測量測實驗,晶片設計與製造則有「國研院台灣半導體研究中心」(https://www.tsri.org.tw/main.jsp)支援。