Embedded Files
Системы подачи технологических газов: проектирование и изготовление
Системы подачи технологических газов: проектирование и изготовление
ЗАО «Тринитри» осуществляет разработку и изготовление газовых систем. Нами накоплен большой опыт проектирования, сборки и экcплуатации систем подачи сверхчистых газов для установок химического осаждения из газовой фазы, установок сухого травления, газовых лазеров и иного технологического и лабораторного оборудования.
Для соединения труб и фитингов используется автоматическая аргонодуговая орбитальная сварка.
Для размещения заказа обращайтесь order@trinitri.ru
Образцы продукции:
Образцы продукции:
Газовая система установки хлорид-гидридной газофазной эпитаксии (HVPE)
Газовая система установки хлорид-гидридной газофазной эпитаксии (HVPE)
Газораспределительная панель
- панель выполнена в коррозионно-стойком исполнении, использованы трубы и арматура из нержавеющей стали 316L с электрохимической полировкой, для разъемных соединений использованы фитинги VCR 1/4" с никелевыми прокладками.
- подаваемые газы - азот, водород, хлороводород, аммиак, силан.
- количество выходных каналов - 8
- для соединения труб и компонентов использованы сварные соединения Micro-Fit компании Swagelok
- управление клапанами - пневматическое, с использованием компонентов компании SMC.
- Управление MFC - цифровое DeviceNet
Панель регулировки давления
- Количество газовых магистралей - 5
- подаваемые газы - азот, водород, хлороводород, аммиак, силан
Газовая панель для газобаллонного шкафа
Для подачи сверхчистых и/или токсичных газов.
Осуществляет :
- редуцирование давления
- доочистку газа
- продувку газовой линии нейтральным газом
- контроль давления в баллоне и в газовой магистрали
- автоматическое перекрытие подачи газа в случае утечки
Панель автоматики для управления газовой системой
- Управление электропневматическими клапанами
- Управление цифровыми MFC (DeviceNet)
Google Sites
Report abuse