วัดไตรวิทยาราม มีเนื้อที่ ๒๖ ไร่ ริเริ่มโดยพ่อท่านหนู ฐิตสีโล ในพ.ศ. ๒๔๗๐ โดยสร้างวัดที่ริมเขานุ้ย ได้พัฒนาให้มีเสนาสนะพอในการพักอาศัย ของพระภิกษุสงฆ์ ในปีพ.ศ.๒๔๗๕ จึงได้นิมนต์พระอาจารย์เจียม ถิรธมฺโม มาจำพรรษาได้พัฒนาวัดให้มีความเจริญมากยิ่งขึ้น จึงได้สร้างศาลาการเปริยญ โบสถ์ หอฉันและสำนักเรียนอภิธรรมในปีพ.ศ. ๒๕๐๘ และได้มีการสร้างโรงเรียนประชาบาลให้เยาวชนได้มีการศึกษา
จนวัดมีความมั่นคงเป็นปึกแผ่น อีกทั้งพ่อท่านคล้ายวาจาสิทธิ์ วัดสวนขัน ได้เป็นองค์อุปถัมภ์ในการสร้างวัด ต่อมาพระอาจารย์มณี พุทธรกฺขิโต ได้มาดำรงตำแหน่งเจ้าอาวาสและสอนพระอภิธรรม ท่านได้ตั้งสำนักวิปัสสนา เพื่ออบรมสมาธิภาวนา มีพระภิกษุสามเณรมาศึกษาเล่าเรียนประพฤติปฏิบัติธรรมเป็นจำนวนมาก ในเวลาต่อมา วัดไตรวิทยารามได้พระราชทานวิสุงคามสีมา เมื่อวันที่ ๑๙ กรกฎาคม ๒๕๐๓ และได้สร้างเจดีย์บนยอดเขานุ้ย พร้อมทั้งสร้างพระพุทธบาทจำลองบนยอดเขา และได้สร้างวิหารเรือนครอบไว้ด้วย และเป็นสถานที่ในการชมทัศนียภาพในบริเวณอำเภอทุ่งสง
ในปีพ.ศ.๒๔๙๘ พ่อท่านคล้ายได้นำรอยพระพุทธจำลองที่นำมาจากเกาะแก้วพิสดาร ขนาดความกว้าง ๒ คืบ ยาว ๕ คืบ ซึ่งได้สร้างจำลองจากรอยพระพุทธบาทองค์จริง ที่ประดิษฐานอยู่ริมฝั่งทะเล บนเกาะแก้วพิสดาร จังหวัดภูเก็ต นำไปประดิษฐานเป็นการถาวรไว้ที่ศาลาบนภูเขาสูง บริเวณหลังวัดไตรวิทยาราม(ไสใหญ่) อำเภอทุ่งสง จังหวัดนครศรีธรรมราช ดังในปัจจุบัน(เขานุ้ย) โดยในสมัยนั้นพระอาจารย์เจียม ถิรธมฺโม เป็นเจ้าอาวาสวัดไตรวิทยาราม
ในวันที่ ๒๘ พฤษภาคม พ.ศ.๒๕๓๔ เวลา ๐๙.๓๙น. ทางวัดไตรวิทยารามได้ทำพิธี บรรจุพระบรมสารีริกธาตุ เข้าในพระเจดีย์เชิงเขา(บนยอดเขานุ้ย) ขณะนั้นพระอาจารย์มณี พุทธรกฺขิโต เป็นเจ้าอาวาส เพื่อเทิดพระเกียรติสมเด็จพระเทพรัตนราชสุดา สยามบรมราชกุมารี ทรงมีพระชนมายุครบ ๓๖ พรรษา