Heterogeneously-integrated semiconductor devices lab

์ด์ข… ์ง‘์  ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž ์—ฐ๊ตฌ์‹ค

๐Ÿ˜€๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค์€ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ฐ˜๋„์ฒด ์†Œ์ž (MicroLED, Photodetector, Transistor) ์ œ์ž‘/ํ‰๊ฐ€ ๋ฐ ์ด์ข… ์ง‘์  (Heterogeneous integration) ์— ๊ด€ํ•œ ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ˆ˜ํ–‰ํ•˜๊ณ  ์žˆ์œผ๋ฉฐ,ย  ์ด๋ฅผ ํ†ตํ•ด ๋‹ค์–‘ํ•œ ์–ดํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์— ์ ์šฉํ•˜๋Š” ์—ฐ๊ตฌ๋ฅผ ์ง„ํ–‰ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.

๐Ÿ˜€<์ƒ์‹œ-๋ฉ”์ผ๋กœ ์—ฐ๋ฝ> ํ˜„์žฌ ํ•™๋ถ€์—ฐ๊ตฌ์ƒ (3-1/3-2/4-1, ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค ์ง„ํ•™ ์—ฐ๊ณ„ ์„ ๋ฐœ), ๋Œ€ํ•™์›์ƒ(์„์‚ฌ, ๋ฐ•์‚ฌ)์„ ๋ชจ์ง‘์ค‘์ด๋‹ˆ ๋ณธ ์—ฐ๊ตฌ์‹ค ์—ฐ๊ตฌ ๋ถ„์•ผ ๋ฐ ํ™œ๋™, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ  ์—ฐ๊ตฌ์‹ค ์ƒํ™œ์— ๊ถ๊ธˆํ•œ ์‚ฌํ•ญ์ด ์žˆ๋‹ค๋ฉด ๋ฉด๋‹ด ์‹ ์ฒญ์„ ํ•ด์ฃผ์‹œ๊ธฐ ๋ฐ”๋ž๋‹ˆ๋‹ค.

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