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Atomic Craft & Engineering Laboratory @ Hanyang University

ALD/ALE 2023 국제학회 발표 수행 (2023.07.23~26)

2023년 7월 23일~26일동안 미국 시애틀 Hyatt Regency Bellevue에서 제23회 ALD/ALE 2023 국제학회 (23rd International Conference on Atomic Layer Deposition, 10th International Atomic Layer Etching Workshop)가 개최되었습니다.

우리 연구실에서는 김우희 교수님과 석박통합과정 이서현, 오지은 학생이 참석하여 poster 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이서현: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films using Inhibitors for Metal-Dielectric Selectivity

오지은: Area-Selective Atomic Layer Deposition on Dielectric/Metal Substrates via Selective Adsorption of Small Molecule Inhinitors