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Atomic Craft & Engineering Laboratory @ Hanyang University

2023 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회 발표 수행 (2023.05.10)

2023년 5월 10일-11일, 제주대학교 아라캠퍼스에서 2023 한국반도체디스플레이기술학회 춘계학술대회가 개최되었습니다.

이번 춘계학술대회에서는 김우희 교수님께서 소자/공정 세션 좌장 역할을 수행해주셨고, 박사과정 이정민, 석박통합과정 이서현, 오지은 학생이 구두 발표를 진행하였습니다.

발표 제목은 아래와 같습니다.

이정민: "소자 품질의 고유전율 박막 제조를 위한 영역 선택적 원자층 증착법" 

이서현: "금속/유전체 선택비를 위한 포스폰산 자기조립단분자막을 이용한 Ru 박막의 영역 선택적 원자층 증착"

오지은: "방향족 인히비터를 이용한 다양한 기판 위 영역 선택적 증착"