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Atomic Craft & Engineering Laboratory @ Hanyang University

제27회 한국반도체학술대회 현장우수포스터상 수상 (2020.02.14)

2020년 2월 12일-14일, 강원도 하이원 그랜드호텔에서 [제27회 한국반도체학술대회]가 개최되었습니다.

2월 14일, 이정민 학생이 발표한 포스터 논문이 Thin Film Process Technology 분과의 현장우수포스터로 선정되어 수상하였습니다.

논문제목: Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Thin Films Using a Vapor-Phase Surface Moderator

저자: Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, and Woo-Hee Kim*