Facillity
Manufacturing Equipment
E-beam evaporator
용도 : 금속/비금속 박막 증착
설치장소 : 봅스트홀 1층 첨단기계공학 실험실
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (담당 실무자에게 의뢰)
특이사항
- Target : 6 ( 6개 재료를 순차적으로 증착가능)
- Sample size : 4inch wafer, 최대 직경 50cm
- Mounting : Flat, GLAD
- 보유 target : SiO2, TiO2, Ag, Al, Ni
* 특정 재료 사용 희망시 Target 및 Crusible 구매 필요
Vaccum Furnace
용도 : 비정질탄소 제작
설치장소 : 봅스트홀 1층 첨단기계공학 실험실
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김영규 (담당 실무자에게 의뢰)
특이사항
- Temp. History 저장 가능
- Volume : Ø300mm x 300mm
- Max. Temperature : 1150℃
- Vaccum Level : 8.3 x 10-3 Torr
- N2 분위기 조성 및 다단 적층 가능
Heating Oven
용도 : Pre-Heating, Curing
설치장소 : 봅스트홀 1층 첨단기계공학 실험실
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김영규 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Temp. History 저장 가능
- Volume : 200 x 200 x 200mm
- Max. Temperature : 200℃
- 다단 적층 가능
Pressing Molding Machine
용도 : 유리, 금속의 가압/가열 성형
설치장소 : 봅스트홀 1층 첨단기계공학 실험실
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김영규 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Max. Temperature : 1100℃
- Max. Load : 150kg
- Heating Area : Ø4"
- Single Module
- Temp. History 저장 가능
UV lamp (Dymax EC2000)
용도 : UV-replication / UV-curing
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Large 8" x 8" curing area
- Lamp power : 400 Watt Metal halide bulb
Experimental Equipment
Spin Coater(Spin-3000D)
용도 : 박막 스핀코팅
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Rotation speed : 300 ~ 7,000rpm(@without load, error < 1%)
- Substrate size : piece ~ up to 6" circle
- Spin state : 50steps, 20recipes (digital type)
- Chuck material : Anodized AL, Acetal
- Oiless vacuum pump pressure : -650mmHg
Nano Spotter
용도 : 바이오칩 제작(스팟팅)
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 노 훈 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Spotting Volume : 5nL ~ 200nL
- Sample size : 25mm x 75mm
- LabView Software 제어
Pool Boiling Equipment
용도 : 샘플의 비등열전달도 측정
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Max. Temperature : 200℃
- Sample size : 30mm x 30mm
- Control resolution : 0.1℃
- 작동유체 : 물, 에탄올, FC-72 등
Measuring Equipment
Confocal Microscope (OLS4100)
용도 : 시료의 표면 측정
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Light Source: 405 nm Semiconductor Laser
- Total Magnification : 108x – 17,280x
- Planar Measurement : 20nm
- Height Measurement : 10(0.8)nm
Ellipsometry (SpecEL-2000)
용도 : 금속/비금속 박막 물성 측정
설치장소 : 209관 지하 클린룸
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Wavelength range 380-780 nm
- Accuracy 0.1 nm thickness; 0.005% refractive index
- Angle of incidence 70 ˚
- Film thickness 1-5000 nm for single transparent film
- Spot size 2 mm x 4 mm
- Sampling time 3-15 seconds (minimum)
- Kinetic logging 3 seconds
- Mechanical tolerance (height) +/- 1.5 mm, angle +/- 1.0 ˚
- Number of layers Up to 32 layers
Raman Spectroscopy
용도 : 케미컬 및 바이오 물질 분석
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Liquids: Sample cell attachment for 8mm vials, NMR tubes or MP tubes
- Microscopy: microscope attachment (NuScope™)
- Laser: 120mW (80mW at sample/), 785 nm diode laser
- Resolution: 5 cm-1
- Spectral range: 200 – 2000 cm-1
* 액체 시료 뿐 아니라 Microscope 부착으로 MicroRaman 및 SERS 측정가능
Analytical Balance (AUY-220)
용도 : 화학물질의 정밀계량
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 김 준 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Capacity : 220g
- Min. display : 0.1mg
- Pan size : 80mm
- Full digital control
Microarray Scanner (GenePix 4100A)
용도 : 바이오센서, 형광기판 측정
설치장소 : 봅스트홀 나노생산기술 연구실(#507)
담당교수 : 김석민 (기계공학부, 연락처: 820-5877)
담당실무자 : 노 훈 (User 사용 교육 후 사용가능)
특이사항
- Sample type : Standard microscope slides
- Scan area : Adjustable, 22 x 72 mm max.
- Pixel resolution : 5 μm max., adjustable from 5 to 100 μm
- Digital resolution : 16-bit
- Optics : Non-confocal