無塵室,又稱淨室、潔淨室或清淨室,是指一個具有低污染水準的環境,這裡所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個無塵室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用最大顆粒大小來厘定的。低階別的無塵室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更在意的是無塵室中的灰塵。
淨室的定義為:將空間範圍內之空氣中的微塵粒子等污染物排除,而得到一個相當潔淨的環境。亦即:這個環境中的微塵粒子相當少,稱之為無塵室。無塵室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、製藥、和醫院內的手術室等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔淨度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求範圍內,才不會對製程產生影響。作為生產設施,無塵室可以佔據廠房很多位置。
無塵室設計考量
1.粉塵的阻止
2.溫度與濕度控制
3.人流及物流的管制
4.靜電防止
5.各區間壓差的控制
各產業對應無塵室之等級表