Scanning Transmission X-ray Microscopy（STXM，掃描式穿透X射線顯微術）是一種結合了 X光顯微影像解析度與光譜化學選擇性的先進技術，主要使用軟X光（Soft X-rays），具有極高的空間解析度與元素/化學狀態靈敏度，廣泛應用於奈米尺度的化學映射、電池材料、催化、生物材料等研究領域。

• STXM 的基本原理：

1. 使用聚焦的單色軟X射線（同步輻射光源）

2. 以 30x30nm 光斑逐點掃描樣品（點對點掃描）

3. 偵測穿透樣品後的X光強度，依據不同位置的吸收情況重建影像

4. 搭配掃描能量，即可獲得每個像素點的X光吸收光譜

➡️ 可視為「XAS + 顯微鏡影像」的結合！

• STXM 的優勢:

1. 奈米級影像解析度

2. 每個像素都有對應的XAS光譜（μ-XANES/μ-EXAFS）。

3. 可辨識不同鍵結狀態與氧化態變化。

4. 影像可結合XAS，提供不同區域厚度的光譜分析。

5. 溫和照射，不需導電處理。

6. 可進行原位實驗(in situ）。

• 常見應用範例：

1. 鋰電池材料內部成分與氧化態分佈:觀察正負極材料在不同充放電狀態下的化學變化。

2. 催化劑奈米粒子中活性中心定位與分析:追蹤金屬氧化態、分佈與界面反應區。