Facilities
Glove Box (글러브박스)
수분, 산소가 배제된 순수 질소환경에서 샘플 제작
Thermal Evaporator (열증착기)
금속, 유기물의 열승화를 이용한 박막 제작
Spin Coater (스핀코터)
용액을 이용한 나노미터 두께의 박막 제작
UV-ozone cleaner
금속 및 세라믹 표면 유기이물질 제거 및 친수성으로 전환
Chamber Probe Station
수십마이크로 단위의 초소형 전자소자의 전기특성 평가
Cryostat (크라이오스탯)
전자소자의 저온구동 평가 및 홀현상 관찰
Reflectometer
수십 나노미터에서 수 마이크로미터 두께를 가진 박막 두께 분석
(Polarized) Optical Microscope
편광현미경. 이방성 재료의 결정성 파악
Photo/Electro luminescence for Transistors
Parylene Deposition
기상중합 고분자 박막 제조
Physical Vapor Transport, PVT
유기반도체 단결정 제조