略歴
1976年(昭和51)4月、川西鶴之荘幼稚園に入園。
1979年(昭和54)4月、川西北小学校に入学。将棋部に入部。
1985年(昭和60)4月、六甲中学校に入学。物理部に入部。
PC8001と出会う。中3の時PC9801VM(V30 10MHz)を買う。
1988年(昭和63)4月、そのまま六甲高等学校に進学。
やはりそのまま物理部に残り自作ホーバクラフトやラジコンへリを飛ばして遊ぶ。1991年(平成3)3月31日、六甲高等学校卒業。
1991年(平成3)4月、京都大学 工学部 電気系学科に入学する。
入学祝いにPC9801RX(286 12MHz)を買ってもらう。
京大マイコンクラブに入部。占い博士となる。
村尾育英会の奨学生となる。3回生で親睦会会長に選ばれるが、就任直後に肺に穴が空き入院する。
4回生の時PC486NoteAs(486SX 25MHz)を買う。
卒業研究では超整合アルミ薄や超薄型模造サファイアを製造する。1995年(平成7)4月、京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻修士課程に入学。
工学部附属イオン工学実験施設(山田研究室)に所属。
EPSON製互換機(Pentium 120MHz)を買う。
研究テーマの移行に従って、いつの間にか7台以上の装置を担当する研究室一の装置持ちとなる。
カーボン製分子型サッカーボール(C60)を時速72万kmでぶつけた炭素板を超極細針で撫でたり(AFM観察)、
針から炭素板に向けて超ミニ放電させたり(STM観察)して修士論文を完成させる。
新しい装置の設計をさせてもらううち、ドクター進学に心傾く。1997年(平成9)3月24日、京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻修士課程修了。
1997年(平成9)4月、京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻博士後期課程に進学。
そのまま工学研究科附属イオン工学実験施設(山田研究室)に所属。
プラスの電荷を持った粒子をシリコン基板にぶつけてできた原子10個分ほどの大きさの穴凹を見て喜ぶ。
せっかく作った穴凹を基板加熱によって平らにしてさらに喜ぶ。
さらに、もっと大きな粒子をぶつけることによるクレーター状の穴凹製作にも成功する。2000年(平成12)3月23日、京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻博士後期課程を修了し、博士(工学)の学位を取得。
2000年(平成12)4月17日、京都大学大学院工学研究科の非常勤研究員となり、工学研究科附属イオン工学実験施設(クラスタイオン工学講座)にて研究に従事する。
2000年(平成12)9月18日、新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)よりの委託事業「クラスターイオンビームプロセステクノロジー」プロジェクトが開始され、これに参加する。
2002年(平成14)9月2日、経済産業省(METI)よりの委託事業「次世代量子ビーム利用ナノ加工プロセス技術の開発」プロジェクトが開始され、これに参加する。
2003年(平成15)3月31日、京都大学大学院工学研究科の非常勤研究員を退職。
2003年(平成15)4月1日、「クラスターイオンビームプロセステクノロジー」および「次世代量子ビーム利用ナノ加工プロセス技術の開発」両プロジェクトの代表委託先である(財)大阪科学技術センターの研究員となり、研究場所を京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センターに移してクラスター関連の研究に従事する。
2005年(平成17)5月31日、(財)大阪科学技術センターの研究員を退職。
2005年(平成17)6月1日、国立大学法人京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センターの産学官連携助手となり、多原子衝突系の照射効果の研究に従事。また、新エネルギー・産業開発機構(NEDO) 委託事業「次世代量子ビーム利用ナノ加工プロセス技術」の研究を兼任。
2007年(平成19)4月30日、京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター 産学官連携助手を退職。
2007年(平成19)5月1日、国立大学法人京都大学工学研究科 原子核工学専攻の講師となり、附属量子理工学研究実験センター 松尾グループにて引き続き多原子衝突系の照射効果の研究に従事。また、国立大学法人京都大学工学研究科附属情報センターの講師を兼任。
研究テーマ 研究室のページ(原子核工学専攻 量子ビーム科学講座 先端ビーム応用グループ)
中性クラスタービーム技術の開発
2016 DPS "Oblique pattern etching with ClF3-Ar neutral cluster beam"(PDF Format 227kB)
2013 MRS-J poster "Si Etching with ClF3 Neutral Cluster Beam from Multi-nozzle"(PDF Format 316kB)
2011 MRS-J poster "Cluster Beam Generation of Low Vapor Pressure Materials"(PDF Format 279kB)
複合クラスタービーム技術の開発
2009 Report "Generation of nano-scale structure controlled composite cluster beam"(PDF Format 397kB)
MeV重イオンを用いた二次イオン質量分析技術の開発
2015 ISI "Imaging mass spectrometry with MeV-energy heavy ion beams"(PDF Format 3106kB)
2012 IMSC poster "Bio‐imaging with Swift Heavy Ion Beams"(PDF Format 1,352kB)
クラスターイオンビーム加工技術の開発
2008 Cluster Workshop "High-speed processing with Cl2 cluster ion beam"(PDF Format 153kB)
2007 Cluster Workshop "High-Speed Nano-Processing with Reactive Cluster Ion Beams"(PDF Format 189kB)
2005 Cluster Workshop "SURFACE PROCESSING WITH HIGH-ENERGY GAS CLUSTER ION BEAMS"(PDF Format 203kB)
大電流クラスターイオンビーム発生技術の開発
イオン・固体表面相互作用における損傷・回復過程のナノスケール観察と解析
STMによるクラスターイオン照射表面の観察と解析
Si基板上エピタキシャルAl/Al2O3積層構造の作製と特性の研究
発表論文
博士論文
学会・シンポジウムにおける発表
受賞など
XIIth International Conference on Ion Implantation Technology (IIT'98), June (1998), Kyoto, Japan.
Best Student Award of Ion Implantation Conference受賞The 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016), November (2016), Hokkaido, Japan.
Best Presentation Award受賞