SECS / GEM数据项

SECS / GEM是一种行业标准，它定义了设备和Fab主机软件之间用于控制和监视目的的标准通信过程。通过连接SECS / GEM设备，晶圆厂可以立即获得运营收益。工厂主机可以通过多种方式收集数据。除事件报告外，晶圆厂主机通常需要轮询设备以获取当前数据值。主机可以直接请求数据值，也可以在跟踪报告中定期进行采样，此过程称为数据轮询

SECS / GEM标准定义了3类数据项：

状态变量（SV）

状态变量是标识设备或其任何组件（例如传感器，仪表等）的状态的数据项。过程设备的状态变量的示例包括–温度，压力，气流，RF正向功率，旋转速度，这些数据项通常不附加到诸如批量开始，晶圆开始等事件。工厂主机可以随时向设备查询状态变量，也可以定义跟踪数据设置以通过其询问设备以提供状态变量定期地。工厂主机不能更改设备的状态变量。

数据值变量（DV)

数据值变量是与特定事件相关的数据项，例如批量开始，设备上发生的警报/错误，晶圆处理/测量完成等。数据值变量的示例包括– LotID，SlotNumber，CurrentRecipe等。这些变量仅在发生特定事件时才更改，例如选择配方，开始批处理等。工厂主机通过定义报告并将报告与事件相关联来查询“数据值”变量。

与状态变量不同，数据值变量可能没有值。例如，数据值变量之一是AlarmID，它指定最新警报的ID。但是，如果自设备打开以来没有任何警报，则该字段可以为空。工厂主机不能更改设备的数据变量。

设备常数（EC）

设备常数是与设备配置有关的数据项–它们可以包含与设备硬件，软件或SECS / GEM软件有关的项。与状态变量和数据值变量不同，工厂主机可以通过SECS消息更改设备常数。设备常数的示例包括–抽空时间限制，设备待机时间，固定等待时间等。

数据属性：

上面列出的数据类型具有相似的属性，因此可以方便地定义数据。要求设备供应商在SECS / GEM手册中提供这些属性，以便Fab主机将能够理解数据并与之通信。以下是数据类型的一些重要数据属性：

ID –这是一个数字ID，在SECS / GEM界面中必须唯一。这些ID可以按数据类型分组，分别称为SVID（状态变量ID），DVID（数据变量ID）和ECID（收集事件ID）。

名称-分配给数据项的名称，以便我们轻松识别。

格式–项目的数据类型。

数据格式可以是简单的（数字，ASCII，布尔值）或复杂的（数组，列表，结构）。例如，数字类型可以是I1，I2，I4，I8（不同字节长度的有符号整数类型），U1，U2，U4，U8（无符号整数类型）和F4或F8（浮点类型）。

数组类型和列表在数据项中包含多个值。例如，图像数据将被格式化为字节数组。

结构类型包含特定类型的数据。例如，变量可以表示包含载具信息以及包含其晶片放置状态的插槽列表的插槽图。

值–是数据项的实际值。数据值采用准确，高效，自描述的二进制格式，因此主机可以轻松地解释数据。数据格式可以收集更多的数据，并且效率更高。

警报和收集事件（CE）也具有用于标识的ID和名称。

数据轮询:

工厂主机通常通过事件报告和跟踪报告以及它定义的定期获取数据。 SECS / GEM还为Fab主机提供了一个根据其需求轮询数据的系统。

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