XPS/ESCA

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型號：X-ray photoelectron spectrometer, XPS/ESCA

編號：機台編號:M2

設置地點：燃料電池中心

設備功能：

所屬實驗室：

重要規格：

1.以非破壞性的方式對固態樣品(導體及非導體)表面元素及化態進行分析

2.以破壞性的方式對固態樣品(導體及非導體)進行縱深分析

3.數據比較（能譜解析疊圖或相減等比較）、縱深分佈、原子濃度計算、多層薄膜厚度計算、峰值標定和辨識、元素分佈成像等

聯絡資訊：

實驗室聯絡人：趙珍翌

電話：03-4638800 分機：3088

E-mail：jychao@saturn.yzu.edu.tw

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