6-Gun-RF/DC Sputtering System with Load-Lock Chamber

• 산화물(ZnO, WO3, ITO, TiO2 etc) 박막 증착 및 Metal Thin Film 증착

E-beam / Thermal Evaporation System

• 반도체소자 전극 증착 및 High-energy source를 통한 소재 증착

Reactive Ion Etching System (Plasma를 활용한 식각공정 및 표면기능화)

Rapid Thermal Annealing System

• Halogen Lamp를 이용한 고속/고온열처리 수행

CVD/ALD Hybrid System

• 유기화학 Precursor를 이용한 CVD/ALD방식의 소재 합성

1-inch Tube Furnace for CVD 2D materials (Graphene, MoS2, etc) 

Maskless Lithography System in Yellow Room

X-ray Photoelectron Spectroscopy (한국화학연구원 박막재료연구센터 공동)

Raman Spectroscopy (한국화학연구원 박막재료연구센터 공동)

UV-VIS-NIR Spectroscopy (한국화학연구원 박막재료연구센터 공동)

Electron Microscopy (HR-TEM, HR-SEM, EDS etc, 한국화학연구원 신뢰성평가센터 등) 

Atomic Force Microscopy (물리학과 공용장비)

Electrical Property Measurement System (공주대학교, 한국화학연구원)

• Vacuum Probe Station (FET, pn-junction, capacitane)

• Gas Sensor Measurement System (유해가스 20종)

• Photoelectrical Property Measurement System (532, 1064, 1550 nm 광센서)

• Impedance Analyzer, Cyclic Voltametry