本實驗室提供多項精密量測服務，各儀器收費標準如本頁面相關說明，量測時數部分則按本實驗室操作人員實際實驗時間計算，無法事先提供報價單。實驗儀器也必須由本實驗室人員操作，無法提供外部委託人員申請借用，但量測服務委託方若有需要，可於實驗過程在旁觀看、提供您的需求意見。

• 信件預約：請先寄信至本實驗室主持人陳教授信箱 - lchen@ntu.edu.tw，請儘量說明需要量測試片的材質、大小、透光率等性質，並且敘明預計使用的量測機台。

• 收到您的來信後，本實驗室將儘快與您聯絡相關量測細節，謝謝。

真圓度量測儀 2000 NT/hour

三豐三次元量測儀 2000 NT/hour

白光干涉儀形貌量測技術服務費 2000 NT/hour

共焦量測儀形貌量測技術服務費 2200 NT/hour

廠牌：英國 Taylor Hobson

型號：Talyrond 365

儀器介紹

本儀器主要結構以水平臂探針接觸式真圓度量測，擁有高穩定度系統、零摩擦之空氣軸承主軸、高精度位移控制系統及自動水平、中心校準系統，用來檢測精密至超精密加工件的真圓度及與圓軸相關的幾何精度，如同心度、圓柱度、偏心度、垂直度、部份圓、垂直度等。

規格

1. 旋轉台：直徑 300 mm、空氣軸承、解析度 0.02°

2. 垂直軸：長度 500 mm、定位解析度 0.25 μm

3. 水平軸：行程 200 mm、直線性精度 0.25 μm

4. 探頭球徑：(1、2、4) mm、量測範圍 +/-1 mm、解析度 0.03 μm

廠牌：日本三豐 Mitutoyo

型號：STRATO-Apex 574

儀器介紹

本儀器擁有高剛性結構設計與補償技術，超高精度玻璃光學尺為各軸提供更高解析度、精度，除震台隔絕地板震動對機台影響並快速恢復機台水平，可實現高速、高精度測量。

規格

1. 測定範圍：500 mm × 700 mm × 400 mm

2. 最大容許長度量測誤差：E = 0.7 + 2.5L / 1000 μm

廠牌：日本 KEYENCE

型號：控制器 VK-X1000 / 量測頭 VK-X1100

儀器介紹

本儀器擁有光學顯微鏡的方便性 ， 同時具備有 SEM 與表面粗度儀的分析功能，可對 3D 物件進行非接觸式量測， 獲得特徵形狀、表面粗糙度等量測資訊。量測具高解析度、長景深且量測對象通用性高，同時使用短波長雷射與白光光源，可提供實際色彩的高解析度影像。

規格

1. 倍率：至 28800 倍

2. 視野：11 μm 至 7398 μm

3. 高度量測顯示解析度：0.5 nm

4. 雷射光源：紫色半導體雷射 404 nm