Research Infra
(보유/활용 가능 장비)
Embedded Files
증착 장비
Thermal Evaporator & Glove Box
대동하이텍 | 고려기연
유기/무기/메탈 증착
Sampe Size | ~ 120 mm 사각형 기판
Date | 2013.02.15
RF/DC Magnetron Sputter
대동하이텍
RF/DC Magnetron, 300W
Sampe Size | 4"
Date | 2015.02.09
E-beam Evaporator
E-beam Evaporator
Korea Vacuum Tech
Sample Size | 4"
Atomic Layer Deposition System
Atomic Layer Deposition System
NCD
원자층 박막 증착
Sample Size | 12"
Date | 2021.11.02
식각 장비
RF Reactive Ion Etcher
RF Reactive Ion Etcher
대기하이텍
RF etching, 600W
Sample Size | 4"
Date | 2019.11.04
측정 장비
유연 다목적 변형 시험기
유연 다목적 변형 시험기
CKSI
Bending /Sliding /Rolling /Stretching/Twisting/Folding
Sample Size | 7"
Date | 2017
Surface Profiler
Surface Profiler
KLA, Alpha-Step D-500
Date | 2023.11.08
Atomic Force Microscope
Atomic Force Microscope
Parksystems, XE-100
Date | 2007
OLED EL 특성 및 시야각
자동화 측정 장비
OLED EL 특성 및 시야각
자동화 측정 장비
Konica Minolta, CS-2000A
2HNM 자동화 시야각 측정 시스템
Sample Size | 1"
Date | 2020.10.29
면저항 측정기
면저항 측정기
AIT
4 point probe type
Sample Size | 8"
Date | 2007
Fluorescence Spectrometer
Fluorescence Spectrometer
Hitachi, F-7000
200 - 750 nm
Date | 2020.10.23
UV/VIS Spectrometer
UV/VIS Spectrometer
Agilent, HP 8453
220 - 1400 nm
Date | 1999
UV-Vis Spectrometer + 적분구
UV-Vis Spectrometer + 적분구
Shimazu, UV-2600i
180 - 900 nm
Date | 2023.03.30
접촉각 측정기
접촉각 측정기
Rovix
접촉각 측정 / 표면 에너지 계산
Date | 2024.02.29
수명 측정 장비
수명 측정 장비
제이인스트루먼트
Sample Size | 1"
Date | 2021.01.06
OLED 자동화 수명 측정 장비
OLED 자동화 수명 측정 장비
RVISION
Sample Size | 1"
OLED 수명 측정 장비
OLED 수명 측정 장비
McScience, M6000 Plus
Sample Size | 1"
Date | 2023.04.12
Scanning Electron Microscope
Scanning Electron Microscope
COXEM EM30
mini-SEM
Sample Size | ~ 45 mm
Date | 2012.02.10
Thin Film Analyzer
Thin Film Analyzer
Filmetrics, F-20
두께/굴절률/투과도/반사도 측정/계산
380 - 1050 nm
Hall Effect Measurement System
Hall Effect Measurement System
Ecopia
Sample Size | 1"
노광 장비
Laser Interference Lithography System
Laser Interference Lithography System
Cobolt Laser, zouk
355nm CW laser
Future Science
2축 회전 노광스테이지
Date | 2017.08.25
Mask Aligner
Mask Aligner
MIDAS
Broadband i-line
Sample Size | 4"
Date | 2005.05.23
세정 장비
UVO Cleaner
UVO Cleaner
Omniscience
자외선 세정기
Date | 2016.09.08
O2-Plasma Systems
O2-Plasma Systems
Femto Science, CUTE
Surface Treatment
Sample Size | 120 mm
Date | 2018.07.24
기타 장비
자동 스크라이버
자동 스크라이버
Prowin
자동기판 컷팅 장비
Date | 2025.02.25
Update ver. 2026-04
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