Research Infra
(보유/활용 가능 장비)
Embedded Files
증착 장비
Thermal Evaporator & Glove Box
대동하이텍 | 고려기연
유기/무기/메탈 증착
Sampe Size | ~ 120 mm 사각형 기판
Magnetron Sputter
대동하이텍
RF/DC Magnetron, 300W
Sampe Size | 4"
E-beam Evaporator
E-beam Evaporator
Korea Vacuum Tech
Sample Size | 4"
Atomic Layer Deposition System
Atomic Layer Deposition System
NCD
원자층 박막 증착
Sample Size | 12"
식각 장비
RF Reactive Ion Etcher
RF Reactive Ion Etcher
대기하이텍
RF etching, 600W
Sample Size | 4"
kHz Reactive Ion Etcher
kHz Reactive Ion Etcher
Femto Science, CUTE
O2 plasma
Sample Size | 120 mm
측정 장비
유연 다목적 변형 시험기
유연 다목적 변형 시험기
CKSI
Bending /Sliding /Rolling /Stretching/Twisting/Folding
Sample Size | 7"
Surface Profiler
Surface Profiler
KLA, Alpha-Step D-500
Atomic Force Microscope
Atomic Force Microscope
Parksystems, XE-100
OLED EL 특성 측정 장비
OLED EL 특성 측정 장비
Konica Minolta, CS-2000A
2HNM 자동화 시야각 측정 시스템
Sample Size | 1"
면저항 측정기
면저항 측정기
AIT
4 point probe type
Sample Size | 8"
Fluorescence Spectrometer
Fluorescence Spectrometer
Hitachi, F-7000
200 - 750 nm
UV/VIS Spectrometer
UV/VIS Spectrometer
Agilent, HP 8453
220 - 1400 nm
UV-Vis Spectrometer + 적분구
UV-Vis Spectrometer + 적분구
Shimazu, UV-2600i
180 - 900 nm
접촉각 측정기
접촉각 측정기
Rovix
접촉각 측정 / 표면 에너지 계산
수명 측정 장비
수명 측정 장비
제이인스트루먼트
Sample Size | 1"
OLED 자동화 수명 측정 장비
OLED 자동화 수명 측정 장비
RVISION
Sample Size | 1"
OLED 수명 측정 장비
OLED 수명 측정 장비
McScience, M6000 Plus
Sample Size | 1"
Scanning Electron Microscope
Scanning Electron Microscope
COXEM EM30
mini-SEM
Sample Size | ~ 45 mm
Thin Film Analyzer
Thin Film Analyzer
Filmetrics, F-20
두께/굴절률/투과도/반사도 측정/계산
380 - 1050 nm
노광 장비
Laser Interference Lithography System
Laser Interference Lithography System
Cobolt Laser, zouk
355nm CW laser
Future Science
2축 회전 노광스테이지
Mask Aligner
Mask Aligner
MIDAS
Broadband i-line
Sample Size | 4"
세정 장비
UVO Cleaner
UVO Cleaner
Omniscience
자외선 세정기
Update ver. 2024-10
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