研究設備
陰極電弧沉積鍍膜系統(CAE)/產學合作 x 2
陰極電弧沉積鍍膜系統(CAE)/產學合作 x 2
電漿化學氣相沉積鍍膜系統(PECVD) x 1
電漿化學氣相沉積鍍膜系統(PECVD) x 1
電漿光譜分析儀(OES) x 2
電漿光譜分析儀(OES) x 2
快速退火熱處理爐(RTA) x 1
快速退火熱處理爐(RTA) x 1
真空離子氮化系統/產學合作 x 1
真空離子氮化系統/產學合作 x 1
電漿微弧氧化系統(PEO/MAO)/產學合作 x 1
電漿微弧氧化系統(PEO/MAO)/產學合作 x 1
高溫管型爐(1200 DEG. C) 氣相沉積系統 x 2
高溫管型爐(1200 DEG. C) 氣相沉積系統 x 2
衝擊疲勞壓痕測試儀(500 deg. C) x 2
衝擊疲勞壓痕測試儀(500 deg. C) x 2
洛式壓痕薄膜附著力試驗機x 1
洛式壓痕薄膜附著力試驗機x 1
薄膜硬度與機械性質量測儀 x 1
薄膜硬度與機械性質量測儀 x 1
球磨薄膜厚度量測儀 x 1
球磨薄膜厚度量測儀 x 1
多功能光學顯微鏡 x 1
多功能光學顯微鏡 x 1
多功能刀具磨床 x 1
多功能刀具磨床 x 1
慢速鑽石切割機 X 1
慢速鑽石切割機 X 1