電漿與表面工程研究室

Plasma and Surface Engineering Laboratory

研究室簡介 Introduction

本實驗室為教學與研究型實驗室,為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要發展精密製造之先進表面工程與薄膜沉積的相關技術,包括真空硬質鍍膜、離子氮化與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。成立國立虎尾科大薄膜工程聯盟中心,促進產學研合作,精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。

教學目標 Teaching objectives

表面工程與真空鍍膜技術的原理及設計製造

真空硬質鍍膜設備架構之設計與操作

離子氮化設備之原理與操作

鍍膜分析技術與性能量測方法

研究方向 r/d fields

表面工程技術

奈米結構硬質鍍膜技術

生醫與抗菌功能性鍍膜技術

高密度電漿真空陰極電弧蒸鍍(CAE)源研製與磁場控制

電漿強化化學氣相沉積(PECVD)

離子植入技術

真空電漿製程系統與電漿分析

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