電漿與表面工程研究室
Plasma and Surface Engineering Laboratory
研究室簡介 Introduction
研究室簡介 Introduction
本實驗室為教學與研究型實驗室,為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要發展精密製造之先進表面工程與薄膜沉積的相關技術,包括真空硬質鍍膜、離子氮化與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。成立國立虎尾科大薄膜工程聯盟中心,促進產學研合作,精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。
本實驗室為教學與研究型實驗室,為國內發展真空鍍膜與表面工程技術與應用之重要實驗機構。主要發展精密製造之先進表面工程與薄膜沉積的相關技術,包括真空硬質鍍膜、離子氮化與功能性鍍膜製造等之相關教學與研究。成立國立虎尾科大薄膜工程聯盟中心,促進產學研合作,精實表面工程與真空鍍膜技術與推廣產業化。
教學目標 Teaching objectives
教學目標 Teaching objectives
表面工程與真空鍍膜技術的原理及設計製造
表面工程與真空鍍膜技術的原理及設計製造
真空硬質鍍膜設備架構之設計與操作
真空硬質鍍膜設備架構之設計與操作
離子氮化設備之原理與操作
離子氮化設備之原理與操作
鍍膜分析技術與性能量測方法
鍍膜分析技術與性能量測方法
研究方向 r/d fields
研究方向 r/d fields
表面工程技術
表面工程技術
奈米結構硬質鍍膜技術
奈米結構硬質鍍膜技術
生醫與抗菌功能性鍍膜技術
生醫與抗菌功能性鍍膜技術
高密度電漿真空陰極電弧蒸鍍(CAE)源研製與磁場控制
高密度電漿真空陰極電弧蒸鍍(CAE)源研製與磁場控制
電漿強化化學氣相沉積(PECVD)
電漿強化化學氣相沉積(PECVD)
離子植入技術
離子植入技術
真空電漿製程系統與電漿分析
真空電漿製程系統與電漿分析
另有更多實驗室介紹請連結左側選單頁面
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