소형 chamber를 갖는 Plasma Asher 입니다.

고용량의 power supply를 사용하여 일반적으로 300W에서

oxygen plasma를 형성하며 최대 1kW까지의 출력이 가능합니다.

Sample 위에 존재해는 photo resist 등의 유기물들을 cleaning 하는데

주로 사용합니다.