A-tech 제조, Thermal Evaporator 입니다.

주로 전극 증착과 nanorod 제작에 사용되며 진공은 rotary pump 와

turbo pump 를 이용하여 X10^-7 torr 까지 가능합니다.

Sample holder의 tilting 및 rotation이 가능하며,

3개의 source를 장착할 수 있으므로 진공 내에서

동시 혹은 차례대로 3가지 물질의 증착이 가능합니다.

Chamber 내 2개의 전극이 존재하여 증착중에 외부 전원 공급을

이용한 공정및 측정이 가능합니다.